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マスフローコントローラ
シリーズ概要
特長
・対応ガス:AsH3,BF3,PH3,SiF4,PF3
・マルチレンジモデルも対応:ロータリースイッチによるガス種切替仕様
シリーズスペック詳細
| クリーン度 | 完全禁油 |
|---|---|
| 最高使用圧力(MPa) | 0.133 |
| 最高使用温度(℃) | 50 |
| 最低使用温度(℃) | 5 |
| 特徴 | 微量調整可 |
業界別カテゴリ
- エレクトロニクス
- メカトロニクス
- ケミカル
- パブリックラボラトリ
- エネルギー
- バイオメディカル・フード
- ライフサイエンス
業界分類
- エレクトロニクス
- メカトロニクス
- ケミカル
- パブリックラボラトリ
- エネルギー
- バイオメディカル・フード
- ライフサイエンス
マスフローコントローラ
￥0
税込
商品コード： FCSDS-T2000
特長
・対応ガス:AsH3,BF3,PH3,SiF4,PF3
・マルチレンジモデルも対応:ロータリースイッチによるガス種切替仕様
・対応ガス:AsH3,BF3,PH3,SiF4,PF3
・マルチレンジモデルも対応:ロータリースイッチによるガス種切替仕様