マスフローコントローラ 製品シリーズ一覧
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マスフローコントローラ
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自動圧力制御コントローラ
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表示器一体型マスフローメータ
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マスフローコントローラ
FCSDS-T2000 シリーズ 代表品番：FCSDS-T2000 シリーズ概要：特長
・対応ガス:AsH3,BF3,PH3,SiF4,PF3
・マルチレンジモデルも対応:ロータリースイッチによるガス種切替仕様
マスフローコントローラ
FCS-G200 シリーズ 代表品番：FCS-G200 シリーズ概要：特長
・アナログ信号による流量計測と制御機能に特化
・制御電源一体化ユニットも対応
マスフローコントローラ
FCS-T2000 シリーズ 代表品番：FCS-T2000 シリーズ概要：特長
・ピエゾアクチュエータ搭載
・低温度熱式流量センサ(反応性の高いガスや安定性の低いガスに有利)
・微小流量対応
マスフローコントローラ
FCS-T1000MP シリーズ 代表品番：FCS-T1000MP シリーズ概要：特長
・ＰＩ機能搭載
圧力センサー内蔵、急激な圧力変動による影響を極限まで軽減
・MGMR(マルチガス、マルチレンジ)機能
・耐食ハステロイセンサ搭載
・高流量精度:±1%S.P.
マスフローコントローラ
FCS-T1000Z シリーズ 代表品番：FCS-T1000Z シリーズ概要：特長
・MGMR(マルチガス、マルチレンジ)機能
・耐食ハステロイセンサ搭載
・高流量精度:±1%S.P.
マスフローコントローラ
FCS-T1000F シリーズ 代表品番：FCS-T1000F シリーズ概要：特長
・高速応答 1sec以内（全流量域）
・流量制御、モニタリングソフト
・多種通信方式に対応
・特殊仕様対応(高圧仕様、低差圧仕様、高差圧仕様等)
マスフローコントローラ
FCS-T1000L シリーズ 代表品番：FCS-T1000L シリーズ概要：特長
・流量精度 ±1%F.S.
・入出力 アナログ(0-5VDC)
・応答速度 1sec以内
自動圧力制御コントローラ
PCS-T1000F シリーズ 代表品番：PCS-T1000F シリーズ概要：特長
・外部圧力センサからの信号による上流側又は下流側の圧力制御
・流量出力 0～5VDC
表示器一体型マスフローメータ
FCS-TM39 シリーズ 代表品番：FCS-TM39 シリーズ概要：特長
・表示器一体型モデル
・外部流量出力
・ニードルバルブ一体モデルも対応
・流量積算、上下限警報出力
マスフローコントローラ
FCS-T1200F シリーズ 代表品番：FCS-T1200F シリーズ概要：特長
・大流量モデル
・流量精度 ±1%F.S.
・応答速度 3sec以内
マスフローコントローラ
FCS-T1500F シリーズ 代表品番：FCS-T1500F シリーズ概要：特長
・大流量モデル
・流量精度 ±2%F.S.
・応答速度 3sec以内
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