流量制御機器
流量制御機器 製品シリーズ一覧
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マスフローコントローラ
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オートプレッシャーコントローラ(自動圧力制御器)
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マスフローコントローラ
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マスフローコントローラ
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マスフローコントローラ
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マスフローコントローラ
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マスフローコントローラ
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マスフローコントローラ
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マスフローコントローラ
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マスフローコントローラ
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自動圧力制御コントローラ
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表示器一体型マスフローメータ
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マスフローコントローラ
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マスフローコントローラ
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マスフローコントローラ
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フローコントロールシステム
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フローコントロールシステム
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フローコントロールシステム
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オートプレッシャーコントローラ(自動圧力制御器)
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マスフローコントローラ
FCSDS-T2000 シリーズ 代表品番：FCSDS-T2000 シリーズ概要：特長
・対応ガス:AsH3,BF3,PH3,SiF4,PF3
・マルチレンジモデルも対応:ロータリースイッチによるガス種切替仕様
オートプレッシャーコントローラ(自動圧力制御器)
UPC シリーズ 代表品番：UPC シリーズ概要：動作原理内蔵した圧力センサーで圧力を一定に保ちます。
アプリケーション
電気信号で任意の圧力が設定可能です。
1つのラインにマスフロが複数接続されている場合、ガス流量の急激な変動が他のマスフロに影響を与えないように圧力調整を行う。
ウエハ裏面冷却用の制御器として対応可能。
下流圧力制御用。
仕様
圧力レンジ F.S 13.3kPa(100Torr)、F.S. 150/300/500kPa abs.
供給圧力 0～200kPaG、～897.3kPaG
供給電源電圧 アナログ:±15VDC(120mA)
DeviceNet:+11～+25VDC、4.0W
出力信号 0～10VDC、0～5VDC
マスフローコントローラ
FCS-G200 シリーズ 代表品番：FCS-G200 シリーズ概要：特長
・アナログ信号による流量計測と制御機能に特化
・制御電源一体化ユニットも対応
マスフローコントローラ
FCS-T2000 シリーズ 代表品番：FCS-T2000 シリーズ概要：特長
・ピエゾアクチュエータ搭載
・低温度熱式流量センサ(反応性の高いガスや安定性の低いガスに有利)
・微小流量対応
マスフローコントローラ
FCS-T1000MP シリーズ 代表品番：FCS-T1000MP シリーズ概要：特長
・ＰＩ機能搭載
圧力センサー内蔵、急激な圧力変動による影響を極限まで軽減
・MGMR(マルチガス、マルチレンジ)機能
・耐食ハステロイセンサ搭載
・高流量精度:±1%S.P.
マスフローコントローラ
FCS-T1000Z シリーズ 代表品番：FCS-T1000Z シリーズ概要：特長
・MGMR(マルチガス、マルチレンジ)機能
・耐食ハステロイセンサ搭載
・高流量精度:±1%S.P.
マスフローコントローラ
FCS-T1000F シリーズ 代表品番：FCS-T1000F シリーズ概要：特長
・高速応答 1sec以内（全流量域）
・流量制御、モニタリングソフト
・多種通信方式に対応
・特殊仕様対応(高圧仕様、低差圧仕様、高差圧仕様等)
マスフローコントローラ
FCS-T1000L シリーズ 代表品番：FCS-T1000L シリーズ概要：特長
・流量精度 ±1%F.S.
・入出力 アナログ(0-5VDC)
・応答速度 1sec以内
自動圧力制御コントローラ
PCS-T1000F シリーズ 代表品番：PCS-T1000F シリーズ概要：特長
・外部圧力センサからの信号による上流側又は下流側の圧力制御
・流量出力 0～5VDC
表示器一体型マスフローメータ
FCS-TM39 シリーズ 代表品番：FCS-TM39 シリーズ概要：特長
・表示器一体型モデル
・外部流量出力
・ニードルバルブ一体モデルも対応
・流量積算、上下限警報出力
マスフローコントローラ
FCS-T1200F シリーズ 代表品番：FCS-T1200F シリーズ概要：特長
・大流量モデル
・流量精度 ±1%F.S.
・応答速度 3sec以内
マスフローコントローラ
FCS-T1500F シリーズ 代表品番：FCS-T1500F シリーズ概要：特長
・大流量モデル
・流量精度 ±2%F.S.
・応答速度 3sec以内
フローコントロールシステム
FCSP8000 シリーズ 代表品番：FCSP8000 シリーズ概要：特長
1.供給圧力の変動に対して、制御流量は影響を受けません。
2.応答時間が0.5秒以下と早い。
3.取り付け姿勢の影響を受けません。
4.流量自己診断機能の搭載。
5.ガス種を選びません。[フローファクター(流量変換係数)の採用により、N2校正のFCS®で様々なガス種に対応します。]
6.RoHS対応(RoHS規制に対応しており、地球環境に配慮した製品の開発・製造に努めています。)
仕様
1.供給圧力範囲
標準タイプ 250～898.7kPaG
低圧タイプ(AS) 20～898.7kPaG
低圧タイプ(B) 50～898.7kPaG
2.流量レンジ 10SCCM～2.4SLM
3.供給電源電圧 +11～+25VDC/4.5VA(4.5W)
4.入出力信号 DeviceNet通信
フローコントロールシステム
FCSP7000 シリーズ 代表品番：FCSP7000 シリーズ概要：特長
1.供給圧力の変動に対して、制御流量は影響を受けません。
2.応答時間が0.5秒以下と早い。
3.取り付け姿勢の影響を受けません。
4.流量自己診断機能の搭載。
5.ガス種を選びません。[フローファクター(流量変換係数)の採用により、N2校正のFCS®で様々なガス種に対応します。]
6.RoHS対応(RoHS規制に対応しており、地球環境に配慮した製品の開発・製造に努めています。)
仕様
1.供給圧力範囲
標準タイプ 250～898.7kPaG
低圧タイプ(AS) 20～898.7kPaG
低圧タイプ(B) 50～898.7kPaG
2.流量レンジ 標準タイプ 10SCCM～10SLM
低圧(AS)タイプ 27SCCM～1SLM
低圧(B)タイプ 39SCCM～2SLM
3.供給電源電圧
DeviceNet通信 +11～+25VDC/4.5VA(4.5W)
アナログ入出力仕様 ±15VDC(120mA)
4.入出力信号 DeviceNet通信,アナログ入出力
フローコントロールシステム
FCSP7000W シリーズ 代表品番：FCSP7000W シリーズ概要：特長
1.供給圧力の変動に対して、制御流量は影響を受けません。
2.応答時間が0.5秒以下と早い。
3.取り付け姿勢の影響を受けません。
4.流量自己診断機能の搭載。
5.ガス種を選びません。[フローファクター(流量変換係数)の採用により、N2校正のFCS®で様々なガス種に対応します。]
6.RoHS対応(RoHS規制に対応しており、地球環境に配慮した製品の開発・製造に努めています。)
仕様
1.供給圧力範囲
標準タイプ 250～898.7kPaG
低圧タイプ(AS) 20～898.7kPaG
低圧タイプ(B) 50～898.7kPaG
2.流量レンジ
標準タイプ 20SCCM～10SLM
低圧(AS)タイプ 27SCCM～1SLM
低圧(B)タイプ 39SCCM～2SLM
3.供給電源電圧
DeviceNet通信 +11～+25VDC/4.5VA(4.5W)
アナログ入出力仕様 ±15VDC(120mA)
4.入出力信号 DeviceNet通信,アナログ入出力
5.ワイドレンジモデル
オートプレッシャーコントローラ(自動圧力制御器)
UPCUS シリーズ 代表品番：UPCUS シリーズ概要：動作原理
内蔵した圧力センサーで圧力を一定に保ちます。
アプリケーション
電気信号で任意の圧力が設定可能です。
1つのラインにマスフローが複数接続されている場合、ガス流量の急激な変動が他のマスフローに影響を与えないように圧力調整を行う。
ウエハ裏面冷却用の制御器として対応可能。
上流圧力制御。
仕様
圧力レンジ F.S. 150/300/500kPa abs.
供給電源電圧 アナログ:±15VDC(120mA)
DeviceNet:+11～+25VDC、4.0W
出力信号 0～5VDC
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