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オートプレッシャーコントローラ(自動圧力制御器)
シリーズ概要
動作原理
内蔵した圧力センサーで圧力を一定に保ちます。
アプリケーション
電気信号で任意の圧力が設定可能です。
1つのラインにマスフローが複数接続されている場合、ガス流量の急激な変動が他のマスフローに影響を与えないように圧力調整を行う。
ウエハ裏面冷却用の制御器として対応可能。
上流圧力制御。
仕様
圧力レンジ F.S. 150/300/500kPa abs.
供給電源電圧 アナログ:±15VDC(120mA)
DeviceNet:+11～+25VDC、4.0W
出力信号 0～5VDC
シリーズスペック詳細
| 材質 | ステンレス鋼製(SUS316L),Ni-Co Alloy |
|---|---|
| 最高使用圧力(MPa) | 1 |
| 最高使用温度(℃) | 50 |
業界別カテゴリ
- エレクトロニクス
- メカトロニクス
- ケミカル
- パブリックラボラトリ
- エネルギー
- バイオメディカル・フード
- ライフサイエンス
業界分類
- エレクトロニクス
- メカトロニクス
- ケミカル
- パブリックラボラトリ
- エネルギー
- バイオメディカル・フード
- ライフサイエンス
オートプレッシャーコントローラ(自動圧力制御器)
￥0
税込
商品コード： UPCUS
動作原理
内蔵した圧力センサーで圧力を一定に保ちます。
アプリケーション
電気信号で任意の圧力が設定可能です。
1つのラインにマスフローが複数接続されている場合、ガス流量の急激な変動が他のマスフローに影響を与えないように圧力調整を行う。
ウエハ裏面冷却用の制御器として対応可能。
上流圧力制御。
仕様
圧力レンジ F.S. 150/300/500kPa abs.
供給電源電圧 アナログ:±15VDC(120mA)
DeviceNet:+11～+25VDC、4.0W
出力信号 0～5VDC
内蔵した圧力センサーで圧力を一定に保ちます。
アプリケーション
電気信号で任意の圧力が設定可能です。
1つのラインにマスフローが複数接続されている場合、ガス流量の急激な変動が他のマスフローに影響を与えないように圧力調整を行う。
ウエハ裏面冷却用の制御器として対応可能。
上流圧力制御。
仕様
圧力レンジ F.S. 150/300/500kPa abs.
供給電源電圧 アナログ:±15VDC(120mA)
DeviceNet:+11～+25VDC、4.0W
出力信号 0～5VDC