製品情報

機器名称

フローコントロールシステム(FCS®)
マスフローコントローラ
集積化ガスシステム(IGS®)
コンプレッサー/ ポンプ
静止型ミキサー
シールテープ自動巻付機
水分発生装置

システム 製品シリーズ一覧

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最高使用圧力(MPa)
最高使用温度(℃)
最低使用温度(℃)
材質
Cv値
クリーン度
特徴
シリーズ/製品
    フジテプラー シールテープ自動巻付機

    シールテープ自動巻付機

    フジテプラー シールテープ自動巻付機 品番:LSM-32E
    シリーズ概要:
    特長
    コンパクト、簡単、配管作業の省力化に実力発揮

    仕様
    電源:AC100V 50/60Hz供用
    空気源:0.4~0.7MPaのAIR
    テープ巻付るねじの方向:右ねじ
    巻付回数設定可
    テープ幅:5,8,13mm
  • フジテプラー シールテープ自動巻付機

    フジテプラー シールテープ自動巻付機

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  • フジテプラー シールテープ自動巻付機

    シールテープ自動巻付機

    フジテプラー シールテープ自動巻付機 品番:LSM-32F
    シリーズ概要:
    親しみやすいコンパクトな設計、確かな巻付け。
    配管作業の合理化に最適なツール。
    操作性と性能がアップ。
    ① 操作・設定部にタッチパネル採用
    ② モーターに電子制御採用 
      巻付時間 約40%短縮(R1/4、2巻の場合)
    ③ ねじローラー形状の変更・改善
    ④ テンションユニット追加

    仕様
    電源:AC100V 0.5A(50/60Hz)
    駆動用空気圧力範囲(MPa):0.3~0.7
    巻付可能ねじサイズ:R1/8、R1/4、R3/8、R1/2、R3/4、右ねじ
    巻付回数、巻付回転速度:調整可能
    シールテープ幅(mm):4、5、8、10、13
    外観寸法(mm)/質量(kg):W300xD315xH325 / 21
    空気消費量(L/min.):20(20℃、大気圧時)
  • フジテプラー シールテープ自動巻付機

    フジテプラー シールテープ自動巻付機

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  • 静止型ミキサー 混合君

    静止型ミキサー 混合君

    UMX-M シリーズ 品番:-
    シリーズ概要:
    従来のミキサーでは混合、分散の効率が悪くタンクの洗浄などに多くの労力を必要とします。
    しかしこの静止型ミキサー”混合君”と”分散君”では効率が良いため、時間短縮が出来、しかも非常にコンパクトで洗浄も容易です。

    メリット
    ★よく混ざる。
    ★任意の粒径のエマルジョンを簡単に作れる。
    ★連続操作が可能である。
    ★コンパクトである。
    ★スケールアップが容易である。
    ★洗浄が容易である。
    ★目的に応じて、液液系から固液、気液系に応用できる。
    ★効率の良い各種反応装置や各種接触装置としても利用できる。
  • 静止型ミキサー 混合君

    静止型ミキサー 混合君

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  • 静止型ミキサー 分散君

    静止型ミキサー 分散君

    UMX-D シリーズ 品番:-
    シリーズ概要:
    従来のミキサーでは混合、分散の効率が悪くタンクの洗浄などに多くの労力を必要とします。
    しかしこの静止型ミキサー”混合君”と”分散君”では効率が良いため、時間短縮が出来、しかも非常にコンパクトで洗浄も容易です。

    メリット
    ★よく混ざる。
    ★任意の粒径のエマルジョンを簡単に作れる。
    ★連続操作が可能である。
    ★コンパクトである。
    ★スケールアップが容易である。
    ★洗浄が容易である。
    ★目的に応じて、液液系から固液、気液系に応用できる。
    ★効率の良い各種反応装置や各種接触装置としても利用できる。
  • 静止型ミキサー 分散君

    静止型ミキサー 分散君

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  • 水分発生装置

    水分発生装置

    WVG2SLM シリーズ 代表品番:WVG2SLM
    シリーズ概要:
    ◎従来の燃焼式水分発生装置とは異なる
    触媒反応を利用し高純度な水分を発生させる。
    ①触媒を使用した反応炉で従来方式と比較して低温(350℃)で水分を発生させる。
    ②幅広い濃度制御範囲
    1~100%までの水分濃度制御が可能。
    ③すぐれた安全性
    触媒反応プロセスは、従来方式より低温(350℃)で行われます。
    これは大気圧における水素と酸素の混合ガス発火温度に対して十分に低く、発火の危険性はありません。
    ④CEマーキング、SEMI-S2対応
    ⑤2SLMと5SLMの2種
  • 水分発生装置

    水分発生装置

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  • シールテープ自動巻付機

    シールテープ自動巻付機

    LSM シリーズ 代表品番:LSM-32E
    シリーズ概要:
    特長
    コンパクト、簡単、配管作業の省力化に実力発揮
    仕様
    電源:AC100V 50/60Hz供用
    空気源:0.4~0.7MPaのAIR
    テープ巻付るねじの方向:右ねじ
    巻付回数設定可
    テープ幅:5,8,13mm
  • シールテープ自動巻付機

    シールテープ自動巻付機

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  • 静止型ミキサー 混合君

    静止型ミキサー 混合君

    UMX-M シリーズ 代表品番:UMX-M
    シリーズ概要:
    従来のミキサーでは混合、分散の効率が悪くタンクの洗浄などに多くの労力を必要とします。
    しかしこの静止型ミキサー”混合君”と”分散君”では効率が良いため、時間短縮が出来、しかも非常にコンパクトで洗浄も容易です。

    メリット
    ★よく混ざる。
    ★任意の粒径のエマルジョンを簡単に作れる。
    ★連続操作が可能である。
    ★コンパクトである。
    ★スケールアップが容易である。
    ★洗浄が容易である。
    ★目的に応じて、液液系から固液、気液系に応用できる。
    ★効率の良い各種反応装置や各種接触装置としても利用できる。
  • 静止型ミキサー 混合君

    静止型ミキサー 混合君

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  • 静止型ミキサー 分散君

    静止型ミキサー 分散君

    UMX-D シリーズ 代表品番:UMX-D
    シリーズ概要:
    従来のミキサーでは混合、分散の効率が悪くタンクの洗浄などに多くの労力を必要とします。
    しかしこの静止型ミキサー”混合君”と”分散君”では効率が良いため、時間短縮が出来、しかも非常にコンパクトで洗浄も容易です。

    メリット
    ★よく混ざる。
    ★任意の粒径のエマルジョンを簡単に作れる。
    ★連続操作が可能である。
    ★コンパクトである。
    ★スケールアップが容易である。
    ★洗浄が容易である。
    ★目的に応じて、液液系から固液、気液系に応用できる。
    ★効率の良い各種反応装置や各種接触装置としても利用できる。
  • 静止型ミキサー 分散君

    静止型ミキサー 分散君

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  • シールテープ自動巻付機

    シールテープ自動巻付機

    LSM シリーズ 代表品番:LSM-32F
    シリーズ概要:
    親しみやすいコンパクトな設計、確かな巻付け。
    配管作業の合理化に最適なツール。
    操作性と性能がアップ。
    ① 操作・設定部にタッチパネル採用
    ② モーターに電子制御採用 
      巻付時間 約40%短縮(R1/4、2巻の場合)
    ③ ねじローラー形状の変更・改善
    ④ テンションユニット追加
    仕様
    電源:AC100V 0.5A(50/60Hz)
    駆動用空気圧力範囲(MPa):0.3~0.7
    巻付可能ねじサイズ:R1/8、R1/4、R3/8、R1/2、R3/4、右ねじ
    巻付回数、巻付回転速度:調整可能
    シールテープ幅(mm):4、5、8、10、13
    外観寸法(mm)/質量(kg):W300xD315xH325 / 21
    空気消費量(L/min.):20(20℃、大気圧時)
  • シールテープ自動巻付機

    シールテープ自動巻付機

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  • マスフローコントローラ

    マスフローコントローラ

    FCSDS-T2000 シリーズ 代表品番:FCSDS-T2000
    シリーズ概要:
    特長
    ・対応ガス:AsH3,BF3,PH3,SiF4,PF3
    ・マルチレンジモデルも対応:ロータリースイッチによるガス種切替仕様
  • マスフローコントローラ

    マスフローコントローラ

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  • オートプレッシャーコントローラ(自動圧力制御器)

    オートプレッシャーコントローラ(自動圧力制御器)

    UPC シリーズ 代表品番:UPC
    シリーズ概要:
    動作原理内蔵した圧力センサーで圧力を一定に保ちます。

    アプリケーション
    電気信号で任意の圧力が設定可能です。
    1つのラインにマスフロが複数接続されている場合、ガス流量の急激な変動が他のマスフロに影響を与えないように圧力調整を行う。
    ウエハ裏面冷却用の制御器として対応可能。
    下流圧力制御用。

    仕様
    圧力レンジ F.S 13.3kPa(100Torr)、F.S. 150/300/500kPa abs.
    供給圧力 0~200kPaG、~897.3kPaG
    供給電源電圧 アナログ:±15VDC(120mA)
    DeviceNet:+11~+25VDC、4.0W
    出力信号 0~10VDC、0~5VDC
  • オートプレッシャーコントローラ(自動圧力制御器)

    オートプレッシャーコントローラ(自動圧力制御器)

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  • マスフローコントローラ

    マスフローコントローラ

    FCS-G200 シリーズ 代表品番:FCS-G200
    シリーズ概要:
    特長
    ・アナログ信号による流量計測と制御機能に特化
    ・制御電源一体化ユニットも対応
  • マスフローコントローラ

    マスフローコントローラ

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  • マスフローコントローラ

    マスフローコントローラ

    FCS-T2000 シリーズ 代表品番:FCS-T2000
    シリーズ概要:
    特長
    ・ピエゾアクチュエータ搭載
    ・低温度熱式流量センサ(反応性の高いガスや安定性の低いガスに有利)
    ・微小流量対応
  • マスフローコントローラ

    マスフローコントローラ

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  • マスフローコントローラ

    マスフローコントローラ

    FSC-G300 シリーズ 代表品番:FSC-G300
    シリーズ概要:
    特長
    ・流量精度 ±1%F.S.
    ・ピエゾアクチュエータ搭載
  • マスフローコントローラ

    マスフローコントローラ

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  • マスフローコントローラ

    マスフローコントローラ

    FCS-T1000MP シリーズ 代表品番:FCS-T1000MP
    シリーズ概要:
    特長
    ・PI機能搭載 
     圧力センサー内蔵、急激な圧力変動による影響を極限まで軽減
    ・MGMR(マルチガス、マルチレンジ)機能
    ・耐食ハステロイセンサ搭載
    ・高流量精度:±1%S.P.
  • マスフローコントローラ

    マスフローコントローラ

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  • マスフローコントローラ

    マスフローコントローラ

    FCS-T1000Z シリーズ 代表品番:FCS-T1000Z
    シリーズ概要:
    特長
    ・MGMR(マルチガス、マルチレンジ)機能
    ・耐食ハステロイセンサ搭載
    ・高流量精度:±1%S.P.
  • マスフローコントローラ

    マスフローコントローラ

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  • マスフローコントローラ

    マスフローコントローラ

    FCS-T1000F シリーズ 代表品番:FCS-T1000F
    シリーズ概要:
    特長
    ・高速応答 1sec以内(全流量域)
    ・流量制御、モニタリングソフト
    ・多種通信方式に対応
    ・特殊仕様対応(高圧仕様、低差圧仕様、高差圧仕様等)
  • マスフローコントローラ

    マスフローコントローラ

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  • マスフローコントローラ

    マスフローコントローラ

    FCS-T1000M(Z)F-HT シリーズ 代表品番:FCS-T1000M(Z)F-HT
    シリーズ概要:
    特長
    ・高温対応 50~80℃
  • マスフローコントローラ

    マスフローコントローラ

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  • マスフローコントローラ

    マスフローコントローラ

    FCS-T1000L シリーズ 代表品番:FCS-T1000L
    シリーズ概要:
    特長
    ・流量精度 ±1%F.S.
    ・入出力 アナログ(0-5VDC)
    ・応答速度 1sec以内
  • マスフローコントローラ

    マスフローコントローラ

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  • 自動圧力制御コントローラ

    自動圧力制御コントローラ

    PCS-T1000F シリーズ 代表品番:PCS-T1000F
    シリーズ概要:
    特長
    ・外部圧力センサからの信号による上流側又は下流側の圧力制御
    ・流量出力 0~5VDC
  • 自動圧力制御コントローラ

    自動圧力制御コントローラ

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