オートプレッシャーコントローラ(自動圧力制御器) UPCUSシリーズ

シリーズ概要

動作原理
内蔵した圧力センサーで圧力を一定に保ちます。

アプリケーション
電気信号で任意の圧力が設定可能です。
1つのラインにマスフローが複数接続されている場合、ガス流量の急激な変動が他のマスフローに影響を与えないように圧力調整を行う。
ウエハ裏面冷却用の制御器として対応可能。
上流圧力制御。

仕様
圧力レンジ F.S. 150/300/500kPa abs.
供給電源電圧 アナログ:±15VDC(120mA)
DeviceNet:+11～+25VDC、4.0W
出力信号 0～5VDC

シリーズスペック詳細

業界別カテゴリ

• エレクトロニクス
• メカトロニクス
• ケミカル
• パブリックラボラトリ
• エネルギー
• バイオメディカル・フード
• ライフサイエンス