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V-Lok施工工具セット

オートプレッシャーコントローラ(自動圧力制御器)

システム 機器名称

オートプレッシャーコントローラ(自動圧力制御器) UPCUSシリーズ

代表品番:|カタログNo.712-01

シリーズ概要

動作原理
内蔵した圧力センサーで圧力を一定に保ちます。

アプリケーション
電気信号で任意の圧力が設定可能です。
1つのラインにマスフローが複数接続されている場合、ガス流量の急激な変動が他のマスフローに影響を与えないように圧力調整を行う。
ウエハ裏面冷却用の制御器として対応可能。
上流圧力制御。

仕様
圧力レンジ F.S. 150/300/500kPa abs.
供給電源電圧 アナログ:±15VDC(120mA)
DeviceNet:+11~+25VDC、4.0W
出力信号 0~5VDC

シリーズスペック詳細

材質 ステンレス鋼製(SUS316L),Ni-Co Alloy 最高使用圧力(MPa) 1
最高使用温度(℃) 50 最低使用温度(℃) 0

業界別カテゴリ

  • エレクトロニクス
  • メカトロニクス
  • ケミカル
  • パブリックラボラトリ
  • エネルギー
  • バイオメディカル・フード
  • ライフサイエンス
業界分類
  • エレクトロニクス
  • メカトロニクス
  • ケミカル
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