フローコントロールシステム
シリーズ概要
特長
1.供給圧力の変動に対して、制御流量は影響を受けません。
2.応答時間が0.5秒以下と早い。
3.取り付け姿勢の影響を受けません。
4.流量自己診断機能の搭載。
5.ガス種を選びません。[フローファクター(流量変換係数)の採用により、N2校正のFCS®で様々なガス種に対応します。]
6.RoHS対応(RoHS規制に対応しており、地球環境に配慮した製品の開発・製造に努めています。)
仕様
1.供給圧力範囲
標準タイプ 250~898.7kPaG
低圧タイプ(AS) 20~898.7kPaG
低圧タイプ(B) 50~898.7kPaG
2.流量レンジ
標準タイプ 20SCCM~10SLM
低圧(AS)タイプ 27SCCM~1SLM
低圧(B)タイプ 39SCCM~2SLM
3.供給電源電圧
DeviceNet通信 +11~+25VDC/4.5VA(4.5W)
アナログ入出力仕様 ±15VDC(120mA)
4.入出力信号 DeviceNet通信,アナログ入出力
5.ワイドレンジモデル
シリーズスペック詳細
材質 | ステンレス鋼製(SUS316L),スーパーフェライト鋼、ニッケルコバルト合金 | クリーン度 | 完全禁油 |
---|---|---|---|
最高使用圧力(MPa) | 0.89 | 最高使用温度(℃) | 50 |
最低使用温度(℃) | 0 | 特長 | 特殊材料ガス、微量調整可 |
業界別カテゴリ
- エレクトロニクス
- メカトロニクス
- ケミカル
- パブリックラボラトリ
- エネルギー
- バイオメディカル・フード
- ライフサイエンス
業界分類
- エレクトロニクス
- メカトロニクス
- ケミカル
- パブリックラボラトリ
- エネルギー
- バイオメディカル・フード
- ライフサイエンス