機器名称｜システム｜製品情報

表示器一体型マスフローメータ

FCS-TM39 シリーズ 代表品番：FCS-TM39

シリーズ概要：
特長
・表示器一体型モデル
・外部流量出力
・ニードルバルブ一体モデルも対応
・流量積算、上下限警報出力

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マスフローコントローラ

FCS-T1200F シリーズ 代表品番：FCS-T1200F

シリーズ概要：
特長
・大流量モデル
・流量精度 ±1%F.S.
・応答速度 3sec以内

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マスフローコントローラ

FCS-T1500F シリーズ 代表品番：FCS-T1500F

シリーズ概要：
特長
・大流量モデル
・流量精度 ±2%F.S.
・応答速度 3sec以内

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マスフローコントローラ

FCS-T1200MF-HT シリーズ 代表品番：FCS-T1200MF-HT

シリーズ概要：
特長
・高温対応 50～80℃

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フローコントロールシステム

FCSP8000 シリーズ 代表品番：FCSP8000

シリーズ概要：
特長
1.供給圧力の変動に対して、制御流量は影響を受けません。
2.応答時間が0.5秒以下と早い。
3.取り付け姿勢の影響を受けません。
4.流量自己診断機能の搭載。
5.ガス種を選びません。[フローファクター(流量変換係数)の採用により、N2校正のFCS®で様々なガス種に対応します。]
6.RoHS対応(RoHS規制に対応しており、地球環境に配慮した製品の開発・製造に努めています。)

仕様
1.供給圧力範囲
標準タイプ 250～898.7kPaG
低圧タイプ(AS) 20～898.7kPaG
低圧タイプ(B) 50～898.7kPaG
2.流量レンジ 10SCCM～2.4SLM
3.供給電源電圧 +11～+25VDC/4.5VA(4.5W)
4.入出力信号 DeviceNet通信

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フローコントロールシステム

FCSP7000 シリーズ 代表品番：FCSP7000

シリーズ概要：
特長
1.供給圧力の変動に対して、制御流量は影響を受けません。
2.応答時間が0.5秒以下と早い。
3.取り付け姿勢の影響を受けません。
4.流量自己診断機能の搭載。
5.ガス種を選びません。[フローファクター(流量変換係数)の採用により、N2校正のFCS®で様々なガス種に対応します。]
6.RoHS対応(RoHS規制に対応しており、地球環境に配慮した製品の開発・製造に努めています。)

仕様
1.供給圧力範囲
標準タイプ 250～898.7kPaG
低圧タイプ(AS) 20～898.7kPaG
低圧タイプ(B) 50～898.7kPaG
2.流量レンジ標準タイプ 10SCCM～10SLM
低圧(AS)タイプ 27SCCM～1SLM
低圧(B)タイプ 39SCCM～2SLM
3.供給電源電圧
DeviceNet通信 +11～+25VDC/4.5VA(4.5W)
アナログ入出力仕様 ±15VDC(120mA)
4.入出力信号 DeviceNet通信,アナログ入出力

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フローコントロールシステム

FCSP7000W シリーズ 代表品番：FCSP7000W

シリーズ概要：
特長
1.供給圧力の変動に対して、制御流量は影響を受けません。
2.応答時間が0.5秒以下と早い。
3.取り付け姿勢の影響を受けません。
4.流量自己診断機能の搭載。
5.ガス種を選びません。[フローファクター(流量変換係数)の採用により、N2校正のFCS®で様々なガス種に対応します。]
6.RoHS対応(RoHS規制に対応しており、地球環境に配慮した製品の開発・製造に努めています。)

仕様
1.供給圧力範囲
標準タイプ 250～898.7kPaG
低圧タイプ(AS) 20～898.7kPaG
低圧タイプ(B) 50～898.7kPaG
2.流量レンジ
標準タイプ 20SCCM～10SLM
低圧(AS)タイプ 27SCCM～1SLM
低圧(B)タイプ 39SCCM～2SLM
3.供給電源電圧
DeviceNet通信 +11～+25VDC/4.5VA(4.5W)
アナログ入出力仕様 ±15VDC(120mA)
4.入出力信号 DeviceNet通信,アナログ入出力
5.ワイドレンジモデル

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集積化ガスシステム

1.125W シリーズ 代表品番：1.125W

シリーズ概要：
IGSの基本コンセプト
① 基本技術の高性能化
② 小型化
③ 信頼性の向上
　Wsealの採用(シールする部分と外力の受ける部分の分離)
④ 施工性、メンテナンス性の向上
　構成パーツの完全上部着脱方式
　リークポート、専用工具
⑤ 標準化の推進
⑥ コストダウン

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集積化ガスシステム

1.5W シリーズ 代表品番：1.5W

シリーズ概要：
IGSの基本コンセプト
① 基本技術の高性能化
② 小型化
③ 信頼性の向上
　Wsealの採用(シールする部分と外力の受ける部分の分離)
④ 施工性、メンテナンス性の向上
　構成パーツの完全上部着脱方式
　リークポート、専用工具
⑤ 標準化の推進
⑥ コストダウン

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オートプレッシャーコントローラ(自動圧力制御器)

UPCUS シリーズ 代表品番：UPCUS

シリーズ概要：
動作原理
内蔵した圧力センサーで圧力を一定に保ちます。

アプリケーション
電気信号で任意の圧力が設定可能です。
1つのラインにマスフローが複数接続されている場合、ガス流量の急激な変動が他のマスフローに影響を与えないように圧力調整を行う。
ウエハ裏面冷却用の制御器として対応可能。
上流圧力制御。

仕様
圧力レンジ F.S. 150/300/500kPa abs.
供給電源電圧アナログ:±15VDC(120mA)
DeviceNet:+11～+25VDC、4.0W
出力信号 0～5VDC

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