エレクトロニクス > システム
フジキンが関るエレクトロニクス産業は、半導体業界、FPD（フラットパネルディスプレイ）業界、LED（化合物半導体）業界、太陽電池（ソーラー）業界の四種類となります。これら業界のお客様のご要求に応える為、また、お客様の保安・安全・安心のもと、吾々FCGが取組んだ技術開発テーマは、①接ガス・接液部完全禁油、②特殊精密仕上げ、③超清浄度管理の三種類です。エレクトロニクス産業のデバイス製造装置の約７０％は高真空を利用したプロセスです。その代表的な製造装置は、洗浄装置、プラズマCVD装置、イオン注入装置、アニール装置、スパッタリング装置等であり、フジキンの使命は、小さなバルブ・継手に大きな使命と共に、高純度流体をプロセスのユーズポイントまで、純度を落とすことなく供給する技術を支えております。高真空を保持する事、清浄度を管理する事、長期信頼性を確保する事を目標に生産しております。バルブ・継手は、ステンレスバルブだけでなく、特殊材料にも対応しています。エレクトロニクス産業のフローコントロールシステム（流れ制御機器）をお客様の用途に応じてご提案をさせて頂きます。 FPD製造装置やLED製造装置向けバルブ・継手も同様の性能を維持できるようにしております。
- 用途イメージ・関連用語:
- 半導体製造
- FPD製造
- 太陽電池製造
- LED製造
- 洗浄装置
- エッチング装置
- CVD装置
- スパッタリング装置
- イオン注入装置
- 真空蒸着装置
- アッシング装置
- アニール装置
- 真空炉
- 高耐久性
- 高真空対応
- 高洗浄度
- コンパクト
- 特殊ガス対応
- 高純度材料
- 高気密性
検索結果
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水分発生装置
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マスフローコントローラ
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オートプレッシャーコントローラ(自動圧力制御器)
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マスフローコントローラ
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マスフローコントローラ
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マスフローコントローラ
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マスフローコントローラ
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マスフローコントローラ
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マスフローコントローラ
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マスフローコントローラ
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マスフローコントローラ
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自動圧力制御コントローラ
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表示器一体型マスフローメータ
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マスフローコントローラ
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マスフローコントローラ
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マスフローコントローラ
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フローコントロールシステム
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フローコントロールシステム
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フローコントロールシステム
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集積化ガスシステム
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水分発生装置
WVG2SLM シリーズ 代表品番：WVG2SLM シリーズ概要：◎従来の燃焼式水分発生装置とは異なる
触媒反応を利用し高純度な水分を発生させる。
①触媒を使用した反応炉で従来方式と比較して低温(350℃)で水分を発生させる。
②幅広い濃度制御範囲
1～100%までの水分濃度制御が可能。
③すぐれた安全性
触媒反応プロセスは、従来方式より低温(350℃)で行われます。
これは大気圧における水素と酸素の混合ガス発火温度に対して十分に低く、発火の危険性はありません。
④CEマーキング、SEMI-S2対応
⑤2SLMと5SLMの2種
マスフローコントローラ
FCSDS-T2000 シリーズ 代表品番：FCSDS-T2000 シリーズ概要：特長
・対応ガス:AsH3,BF3,PH3,SiF4,PF3
・マルチレンジモデルも対応:ロータリースイッチによるガス種切替仕様
オートプレッシャーコントローラ(自動圧力制御器)
UPC シリーズ 代表品番：UPC シリーズ概要：動作原理内蔵した圧力センサーで圧力を一定に保ちます。
アプリケーション
電気信号で任意の圧力が設定可能です。
1つのラインにマスフロが複数接続されている場合、ガス流量の急激な変動が他のマスフロに影響を与えないように圧力調整を行う。
ウエハ裏面冷却用の制御器として対応可能。
下流圧力制御用。
仕様
圧力レンジ F.S 13.3kPa(100Torr)、F.S. 150/300/500kPa abs.
供給圧力 0～200kPaG、～897.3kPaG
供給電源電圧 アナログ:±15VDC(120mA)
DeviceNet:+11～+25VDC、4.0W
出力信号 0～10VDC、0～5VDC
マスフローコントローラ
FCS-G200 シリーズ 代表品番：FCS-G200 シリーズ概要：特長
・アナログ信号による流量計測と制御機能に特化
・制御電源一体化ユニットも対応
マスフローコントローラ
FCS-T2000 シリーズ 代表品番：FCS-T2000 シリーズ概要：特長
・ピエゾアクチュエータ搭載
・低温度熱式流量センサ(反応性の高いガスや安定性の低いガスに有利)
・微小流量対応
マスフローコントローラ
FCS-T1000MP シリーズ 代表品番：FCS-T1000MP シリーズ概要：特長
・ＰＩ機能搭載
圧力センサー内蔵、急激な圧力変動による影響を極限まで軽減
・MGMR(マルチガス、マルチレンジ)機能
・耐食ハステロイセンサ搭載
・高流量精度:±1%S.P.
マスフローコントローラ
FCS-T1000Z シリーズ 代表品番：FCS-T1000Z シリーズ概要：特長
・MGMR(マルチガス、マルチレンジ)機能
・耐食ハステロイセンサ搭載
・高流量精度:±1%S.P.
マスフローコントローラ
FCS-T1000F シリーズ 代表品番：FCS-T1000F シリーズ概要：特長
・高速応答 1sec以内（全流量域）
・流量制御、モニタリングソフト
・多種通信方式に対応
・特殊仕様対応(高圧仕様、低差圧仕様、高差圧仕様等)
マスフローコントローラ
FCS-T1000L シリーズ 代表品番：FCS-T1000L シリーズ概要：特長
・流量精度 ±1%F.S.
・入出力 アナログ(0-5VDC)
・応答速度 1sec以内
自動圧力制御コントローラ
PCS-T1000F シリーズ 代表品番：PCS-T1000F シリーズ概要：特長
・外部圧力センサからの信号による上流側又は下流側の圧力制御
・流量出力 0～5VDC
表示器一体型マスフローメータ
FCS-TM39 シリーズ 代表品番：FCS-TM39 シリーズ概要：特長
・表示器一体型モデル
・外部流量出力
・ニードルバルブ一体モデルも対応
・流量積算、上下限警報出力
マスフローコントローラ
FCS-T1200F シリーズ 代表品番：FCS-T1200F シリーズ概要：特長
・大流量モデル
・流量精度 ±1%F.S.
・応答速度 3sec以内
マスフローコントローラ
FCS-T1500F シリーズ 代表品番：FCS-T1500F シリーズ概要：特長
・大流量モデル
・流量精度 ±2%F.S.
・応答速度 3sec以内
フローコントロールシステム
FCSP8000 シリーズ 代表品番：FCSP8000 シリーズ概要：特長
1.供給圧力の変動に対して、制御流量は影響を受けません。
2.応答時間が0.5秒以下と早い。
3.取り付け姿勢の影響を受けません。
4.流量自己診断機能の搭載。
5.ガス種を選びません。[フローファクター(流量変換係数)の採用により、N2校正のFCS®で様々なガス種に対応します。]
6.RoHS対応(RoHS規制に対応しており、地球環境に配慮した製品の開発・製造に努めています。)
仕様
1.供給圧力範囲
標準タイプ 250～898.7kPaG
低圧タイプ(AS) 20～898.7kPaG
低圧タイプ(B) 50～898.7kPaG
2.流量レンジ 10SCCM～2.4SLM
3.供給電源電圧 +11～+25VDC/4.5VA(4.5W)
4.入出力信号 DeviceNet通信
フローコントロールシステム
FCSP7000 シリーズ 代表品番：FCSP7000 シリーズ概要：特長
1.供給圧力の変動に対して、制御流量は影響を受けません。
2.応答時間が0.5秒以下と早い。
3.取り付け姿勢の影響を受けません。
4.流量自己診断機能の搭載。
5.ガス種を選びません。[フローファクター(流量変換係数)の採用により、N2校正のFCS®で様々なガス種に対応します。]
6.RoHS対応(RoHS規制に対応しており、地球環境に配慮した製品の開発・製造に努めています。)
仕様
1.供給圧力範囲
標準タイプ 250～898.7kPaG
低圧タイプ(AS) 20～898.7kPaG
低圧タイプ(B) 50～898.7kPaG
2.流量レンジ 標準タイプ 10SCCM～10SLM
低圧(AS)タイプ 27SCCM～1SLM
低圧(B)タイプ 39SCCM～2SLM
3.供給電源電圧
DeviceNet通信 +11～+25VDC/4.5VA(4.5W)
アナログ入出力仕様 ±15VDC(120mA)
4.入出力信号 DeviceNet通信,アナログ入出力
フローコントロールシステム
FCSP7000W シリーズ 代表品番：FCSP7000W シリーズ概要：特長
1.供給圧力の変動に対して、制御流量は影響を受けません。
2.応答時間が0.5秒以下と早い。
3.取り付け姿勢の影響を受けません。
4.流量自己診断機能の搭載。
5.ガス種を選びません。[フローファクター(流量変換係数)の採用により、N2校正のFCS®で様々なガス種に対応します。]
6.RoHS対応(RoHS規制に対応しており、地球環境に配慮した製品の開発・製造に努めています。)
仕様
1.供給圧力範囲
標準タイプ 250～898.7kPaG
低圧タイプ(AS) 20～898.7kPaG
低圧タイプ(B) 50～898.7kPaG
2.流量レンジ
標準タイプ 20SCCM～10SLM
低圧(AS)タイプ 27SCCM～1SLM
低圧(B)タイプ 39SCCM～2SLM
3.供給電源電圧
DeviceNet通信 +11～+25VDC/4.5VA(4.5W)
アナログ入出力仕様 ±15VDC(120mA)
4.入出力信号 DeviceNet通信,アナログ入出力
5.ワイドレンジモデル
集積化ガスシステム
1.125W シリーズ 代表品番：1.125W シリーズ概要：IGSの基本コンセプト
① 基本技術の高性能化
② 小型化
③ 信頼性の向上
Wsealの採用(シールする部分と外力の受ける部分の分離)
④ 施工性、メンテナンス性の向上
構成パーツの完全上部着脱方式
リークポート、専用工具
⑤ 標準化の推進
⑥ コストダウン
製品に関するお問い合わせ
※専任担当者とのコンタクトは、簡単2ステップ