製品一覧
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2圧縮リング型式継手
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2圧縮リング型式継手
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2圧縮リング型式継手
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可変式継手
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可変式継手
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可変式継手
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可変式継手
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マスフローコントローラ
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オートプレッシャーコントローラ(自動圧力制御器)
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マスフローコントローラ
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マスフローコントローラ
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マスフローコントローラ
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BNW SERIESウエアダイヤフラムバルブ
￥880,935
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BNW SERIESウエアダイヤフラムバルブ
￥0
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BNW SERIESウエアダイヤフラムバルブ
￥1,261,315
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BNW SERIESウエアダイヤフラムバルブ
￥0
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BNW SERIESウエアダイヤフラムバルブ
￥0
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BNW SERIESウエアダイヤフラムバルブ
￥0
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BNW SERIESウエアダイヤフラムバルブ
￥0
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BNW SERIESウエアダイヤフラムバルブ
￥0
ポジショナブルタイプティーエルユニオン(G)
VUWPTL-V シリーズ 2圧縮リング型式継手（ミリサイズ×Gねじ(平行ねじ)） 代表品番：VUWPTL-6AF-V 材質：ステンレス鋼製(ASTM A182 F316) 最高使用温度(℃)：537 最低使用温度(℃)：-196 接続形式： 2圧縮リング方式,ねじ込み式
ポジショナブルタイプティーエスユニオン(G)
VUWPTS-V シリーズ 2圧縮リング型式継手（インチサイズ×Gねじ(平行ねじ)） 代表品番：VUWPTS-6.35AF-V 材質：ステンレス鋼製(ASTM A182 F316) 最高使用温度(℃)：537 最低使用温度(℃)：-196 接続形式： 2圧縮リング方式,ねじ込み式
ポジショナブルタイプティーエスユニオン(G)
VUWPTS-V シリーズ 2圧縮リング型式継手（ミリサイズ×Gねじ(平行ねじ)） 代表品番：VUWPTS-6AF-V 材質：ステンレス鋼製(ASTM A182 F316) 最高使用温度(℃)：537 最低使用温度(℃)：-196 接続形式： 2圧縮リング方式,ねじ込み式
可変継手ブッシング
UJB シリーズ 可変式継手（NPT接続） 代表品番：UJB-DN-AM 材質：ステンレス鋼製(ASTM A479 316) 最高使用温度(℃)：537 最低使用温度(℃)：-196 接続形式： ねじ込み式
可変継手プラグ
UJP シリーズ 可変式継手（R・Rcねじ接続） 代表品番：UJP-C-AM 材質：ステンレス鋼製(ASTM A479 316) 最高使用温度(℃)：537 最低使用温度(℃)：-196 接続形式： ねじ込み式
可変継手プラグ
UJP シリーズ 可変式継手（NPT接続） 代表品番：UJP-AN-AM 材質：ステンレス鋼製(ASTM A479 316) 最高使用温度(℃)：537 最低使用温度(℃)：-196 接続形式： ねじ込み式
可変継手プラグ
UJP シリーズ 可変式継手（NPT接続） 代表品番：UJP-BN-AM 材質：ステンレス鋼製(ASTM A479 316) 最高使用温度(℃)：537 最低使用温度(℃)：-196 接続形式： ねじ込み式
マスフローコントローラ
FCSDS-T2000 シリーズ 代表品番：FCSDS-T2000 シリーズ概要：特長
・対応ガス:AsH3,BF3,PH3,SiF4,PF3
・マルチレンジモデルも対応:ロータリースイッチによるガス種切替仕様
オートプレッシャーコントローラ(自動圧力制御器)
UPC シリーズ 代表品番：UPC シリーズ概要：動作原理内蔵した圧力センサーで圧力を一定に保ちます。
アプリケーション
電気信号で任意の圧力が設定可能です。
1つのラインにマスフロが複数接続されている場合、ガス流量の急激な変動が他のマスフロに影響を与えないように圧力調整を行う。
ウエハ裏面冷却用の制御器として対応可能。
下流圧力制御用。
仕様
圧力レンジ F.S 13.3kPa(100Torr)、F.S. 150/300/500kPa abs.
供給圧力 0～200kPaG、～897.3kPaG
供給電源電圧 アナログ:±15VDC(120mA)
DeviceNet:+11～+25VDC、4.0W
出力信号 0～10VDC、0～5VDC
マスフローコントローラ
FCS-G200 シリーズ 代表品番：FCS-G200 シリーズ概要：特長
・アナログ信号による流量計測と制御機能に特化
・制御電源一体化ユニットも対応
マスフローコントローラ
FCS-T2000 シリーズ 代表品番：FCS-T2000 シリーズ概要：特長
・ピエゾアクチュエータ搭載
・低温度熱式流量センサ(反応性の高いガスや安定性の低いガスに有利)
・微小流量対応
手動ウエアダイヤフラムバルブ
BNW SERIESウエアダイヤフラムバルブ 品番:BNWM-100PE-7M 呼び径（サイズ）： 100A(4S)(フェルール式) 材質：ステンレス鋼製(SUS316L) 最高使用圧力(MPa)：0.35 最高使用温度(℃)：140 最低使用温度(℃)：-5 接続形式： クランプ
手動ウエアダイヤフラムバルブ
BNW SERIESウエアダイヤフラムバルブ 品番:BNWM-100PE-5M 呼び径（サイズ）： 100A(4S)(BW) 材質：ステンレス鋼製(SUS316L) 最高使用圧力(MPa)：0.35 最高使用温度(℃)：140 最低使用温度(℃)：-5 接続形式： 溶接
自動ウエアダイヤフラムバルブ
BNW SERIESウエアダイヤフラムバルブ 品番:BNWC-100PE-7M 呼び径（サイズ）： 100A(4S)(フェルール式) 材質：ステンレス鋼製(SUS316L) 最高使用圧力(MPa)：0.35 最高使用温度(℃)：140 最低使用温度(℃)：-5 接続形式： クランプ
自動ウエアダイヤフラムバルブ
BNW SERIESウエアダイヤフラムバルブ 品番:BNWO-100PE-7M 呼び径（サイズ）： 100A(4S)(フェルール式) 材質：ステンレス鋼製(SUS316L) 最高使用圧力(MPa)：0.35 最高使用温度(℃)：140 最低使用温度(℃)：-5 接続形式： クランプ
自動ウエアダイヤフラムバルブ
BNW SERIESウエアダイヤフラムバルブ 品番:BNWD-100PE-7M 呼び径（サイズ）： 100A(4S)(フェルール式) 材質：ステンレス鋼製(SUS316L) 最高使用圧力(MPa)：0.35 最高使用温度(℃)：140 最低使用温度(℃)：-5 接続形式： クランプ
自動ウエアダイヤフラムバルブ
BNW SERIESウエアダイヤフラムバルブ 品番:BNWC-100PE-5M 呼び径（サイズ）： 100A(4S)(BW) 材質：ステンレス鋼製(SUS316L) 最高使用圧力(MPa)：0.35 最高使用温度(℃)：140 最低使用温度(℃)：-5 接続形式： 溶接
自動ウエアダイヤフラムバルブ
BNW SERIESウエアダイヤフラムバルブ 品番:BNWO-100PE-5M 呼び径（サイズ）： 100A(4S)(BW) 材質：ステンレス鋼製(SUS316L) 最高使用圧力(MPa)：0.35 最高使用温度(℃)：140 最低使用温度(℃)：-5 接続形式： 溶接
自動ウエアダイヤフラムバルブ
BNW SERIESウエアダイヤフラムバルブ 品番:BNWD-100PE-5M 呼び径（サイズ）： 100A(4S)(BW) 材質：ステンレス鋼製(SUS316L) 最高使用圧力(MPa)：0.35 最高使用温度(℃)：140 最低使用温度(℃)：-5 接続形式： 溶接
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