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エレクトロニクス > 継手

フジキンが関るエレクトロニクス産業は、半導体業界、FPD(フラットパネルディスプレイ)業界、LED(化合物半導体)業界、太陽電池(ソーラー)業界の四種類となります。これら業界のお客様のご要求に応える為、また、お客様の保安・安全・安心のもと、吾々FCGが取組んだ技術開発テーマは、①接ガス・接液部完全禁油、②特殊精密仕上げ、③超清浄度管理の三種類です。エレクトロニクス産業のデバイス製造装置の約70%は高真空を利用したプロセスです。その代表的な製造装置は、洗浄装置、プラズマCVD装置、イオン注入装置、アニール装置、スパッタリング装置等であり、フジキンの使命は、小さなバルブ・継手に大きな使命と共に、高純度流体をプロセスのユーズポイントまで、純度を落とすことなく供給する技術を支えております。高真空を保持する事、清浄度を管理する事、長期信頼性を確保する事を目標に生産しております。バルブ・継手は、ステンレスバルブだけでなく、特殊材料にも対応しています。エレクトロニクス産業のフローコントロールシステム(流れ制御機器)をお客様の用途に応じてご提案をさせて頂きます。 FPD製造装置やLED製造装置向けバルブ・継手も同様の性能を維持できるようにしております。

  • 用途イメージ・関連用語:
  • 半導体製造
  • FPD製造
  • 太陽電池製造
  • LED製造
  • 洗浄装置
  • エッチング装置
  • CVD装置
  • スパッタリング装置
  • イオン注入装置
  • 真空蒸着装置
  • アッシング装置
  • アニール装置
  • 真空炉
  • 高耐久性
  • 高真空対応
  • 高洗浄度
  • コンパクト
  • 特殊ガス対応
  • 高純度材料
  • 高気密性
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シリーズ/製品
    ユニオンガスケット式継手

    ユニオンガスケット式継手

    UPG-ING シリーズ 代表品番:UPG-3.2G
    接続形式: メタルガスケット式 特徴: 特殊材料ガス,高圧ガス大臣認定品,真空
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    UPG-ING-BL シリーズ 代表品番:UPG-6.35G-BL
    接続形式: メタルガスケット式 特徴: 特殊材料ガス,高圧ガス大臣認定品,真空
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    UPG-INN シリーズ 代表品番:UPG-6.35N
    接続形式: メタルガスケット式 特徴: 特殊材料ガス,高圧ガス大臣認定品,真空
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    UPG-C シリーズ 代表品番:UPG-C-6.35
    接続形式: メタルガスケット式 特徴: 特殊材料ガス,高圧ガス大臣認定品,真空
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    ユニオンガスケット式継手

    UPG-ING シリーズ 代表品番:UPG-6.35G-0.1
    接続形式: メタルガスケット式 特徴: 特殊材料ガス,高圧ガス大臣認定品,真空
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    UJR-INS-W-BR シリーズ 代表品番:UJR-6.35S-W-BR
    材質:ステンレス鋼製(SUS316L) 最高使用圧力(MPa):1 最高使用温度(℃):450 最低使用温度(℃):-196 接続形式: メタルガスケット式 特徴: 特殊材料ガス,高圧ガス大臣認定品,真空
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    UJR-INRE-RG-NI-0-BL シリーズ 代表品番:UJR-6.35RE-RG-NI-0-BL
    材質:ニッケル 最高使用圧力(MPa):1 最高使用温度(℃):450 最低使用温度(℃):-196 接続形式: メタルガスケット式 特徴: 特殊材料ガス,高圧ガス大臣認定品,真空
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    UJR-ING-0-BL シリーズ 代表品番:UJR-6.35G-0-BL
    材質:ステンレス鋼製(SUS316L ダブルメルト材) 最高使用圧力(MPa):1 最高使用温度(℃):450 最低使用温度(℃):-196 接続形式: メタルガスケット式 特徴: 特殊材料ガス,高圧ガス大臣認定品,真空
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    UJR-ING-NI-0-BL シリーズ 代表品番:UJR-3.2G-NI-0-BL
    材質:ニッケル 最高使用圧力(MPa):1 最高使用温度(℃):450 最低使用温度(℃):-196 接続形式: メタルガスケット式 特徴: 特殊材料ガス,高圧ガス大臣認定品,真空
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    UJR-ING-NI-0-BL シリーズ 代表品番:UJR-6.35G-NI-0-BL
    材質:ニッケル 最高使用圧力(MPa):1 最高使用温度(℃):450 最低使用温度(℃):-196 接続形式: メタルガスケット式 特徴: 特殊材料ガス,高圧ガス大臣認定品,真空
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    UJR-JPB-DMJ シリーズ 代表品番:UJR-JPB-6.35-DMJ
    材質:ステンレス鋼製(SUS316L) 最高使用圧力(MPa):1 最高使用温度(℃):450 最低使用温度(℃):-196 接続形式: メタルガスケット式 特徴: 特殊材料ガス,高圧ガス大臣認定品,真空
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    UJR-MS-AW シリーズ 代表品番:UJR-19.05MS-AW
    材質:ステンレス鋼製(SUS316L) 最高使用圧力(MPa):10 最高使用温度(℃):450 最低使用温度(℃):-196 接続形式: メタルガスケット式,バットウエルド 特徴: 特殊材料ガス,高圧ガス大臣認定品,真空
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    UJR-MS-L-AW シリーズ 代表品番:UJR-19.05X6.35MS-AW
    材質:ステンレス鋼製(SUS316L) 最高使用圧力(MPa):10 最高使用温度(℃):450 最低使用温度(℃):-196 接続形式: メタルガスケット式,バットウエルド 特徴: 特殊材料ガス,高圧ガス大臣認定品,真空
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    UJR-S シリーズ 代表品番:UJR-19.05S
    材質:ステンレス鋼製(SUS316L) 最高使用圧力(MPa):10 最高使用温度(℃):450 最低使用温度(℃):-196 接続形式: メタルガスケット式,ソケットウエルド 特徴: 特殊材料ガス,高圧ガス大臣認定品,真空
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    UJR-F シリーズ 代表品番:UJR-F-19.05
    材質:ステンレス鋼製(SUS316) 最高使用圧力(MPa):10 最高使用温度(℃):450 最低使用温度(℃):-196 接続形式: メタルガスケット式 特徴: 特殊材料ガス,高圧ガス大臣認定品,真空
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    UJR-P シリーズ 代表品番:UJR-P-19.05#A
    材質:ステンレス鋼製(SUS316) 最高使用圧力(MPa):10 最高使用温度(℃):450 最低使用温度(℃):-196 接続形式: メタルガスケット式 特徴: 特殊材料ガス,高圧ガス大臣認定品,真空
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    UJR-G-NI-0 シリーズ 代表品番:UJR-19.05G-NI-0
    材質:ニッケル 最高使用圧力(MPa):10 最高使用温度(℃):450 最低使用温度(℃):-196 接続形式: メタルガスケット式 特徴: 特殊材料ガス,高圧ガス大臣認定品,真空
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    UJR-INRE-RG-0-BL シリーズ 代表品番:UJR-6.35RE-RG-0-BL
    材質:ニッケル 最高使用圧力(MPa):10 最高使用温度(℃):450 最低使用温度(℃):-196 接続形式: メタルガスケット式 特徴: 特殊材料ガス,高圧ガス大臣認定品,真空
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    UJR-N シリーズ 代表品番:UJR-19.05N
    材質:ステンレス鋼製(SUS316) 最高使用圧力(MPa):10 最高使用温度(℃):450 最低使用温度(℃):-196 接続形式: メタルガスケット式 特徴: 特殊材料ガス,高圧ガス大臣認定品,真空
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    UJR-C シリーズ 代表品番:UJR-C-19.05
    材質:ステンレス鋼製(SUS316) 最高使用圧力(MPa):10 最高使用温度(℃):450 最低使用温度(℃):-196 接続形式: ねじ込み式,UNF おねじ 特徴: 特殊材料ガス,高圧ガス大臣認定品,真空
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