製品一覧
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集積化ガスシステム
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集積化ガスシステム
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オートプレッシャーコントローラ(自動圧力制御器)
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ユニオンガスケット式継手
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ユニオンガスケット式継手
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ユニオンガスケット式継手
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ユニオンガスケット式継手
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ユニオンガスケット式継手
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ユニオンガスケット式継手
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手動グローブタイプニードルバルブ
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手動アングルタイプニードルバルブ
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自動グローブタイプメタルダイヤフラムバルブ
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自動グローブタイプメタルダイヤフラムバルブ
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自動グローブタイプメタルダイヤフラムバルブ
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自動グローブタイプメタルダイヤフラムバルブ
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自動グローブタイプメタルダイヤフラムバルブ
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自動グローブタイプメタルダイヤフラムバルブ
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自動グローブタイプメタルダイヤフラムバルブ
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手動グローブタイプメタルダイヤフラムバルブ
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自動グローブタイプメタルダイヤフラムバルブ
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集積化ガスシステム
1.125W シリーズ 代表品番：1.125W シリーズ概要：IGSの基本コンセプト
① 基本技術の高性能化
② 小型化
③ 信頼性の向上
Wsealの採用(シールする部分と外力の受ける部分の分離)
④ 施工性、メンテナンス性の向上
構成パーツの完全上部着脱方式
リークポート、専用工具
⑤ 標準化の推進
⑥ コストダウン
集積化ガスシステム
1.5W シリーズ 代表品番：1.5W シリーズ概要：IGSの基本コンセプト
① 基本技術の高性能化
② 小型化
③ 信頼性の向上
Wsealの採用(シールする部分と外力の受ける部分の分離)
④ 施工性、メンテナンス性の向上
構成パーツの完全上部着脱方式
リークポート、専用工具
⑤ 標準化の推進
⑥ コストダウン
オートプレッシャーコントローラ(自動圧力制御器)
UPCUS シリーズ 代表品番：UPCUS シリーズ概要：動作原理
内蔵した圧力センサーで圧力を一定に保ちます。
アプリケーション
電気信号で任意の圧力が設定可能です。
1つのラインにマスフローが複数接続されている場合、ガス流量の急激な変動が他のマスフローに影響を与えないように圧力調整を行う。
ウエハ裏面冷却用の制御器として対応可能。
上流圧力制御。
仕様
圧力レンジ F.S. 150/300/500kPa abs.
供給電源電圧 アナログ:±15VDC(120mA)
DeviceNet:+11～+25VDC、4.0W
出力信号 0～5VDC
ユニオンガスケット式継手
UJR-INS-W-BR シリーズ 代表品番：UJR-6.35S-W-BR 材質：ステンレス鋼製(SUS316L) 最高使用圧力(MPa)：1 最高使用温度(℃)：450 最低使用温度(℃)：-196 接続形式： メタルガスケット式 特徴： 特殊材料ガス,高圧ガス大臣認定品,真空
ユニオンガスケット式継手
UJR-INRE-RG-NI-0-BL シリーズ 代表品番：UJR-6.35RE-RG-NI-0-BL 材質：ニッケル 最高使用圧力(MPa)：1 最高使用温度(℃)：450 最低使用温度(℃)：-196 接続形式： メタルガスケット式 特徴： 特殊材料ガス,高圧ガス大臣認定品,真空
ユニオンガスケット式継手
UJR-ING-0-BL シリーズ 代表品番：UJR-6.35G-0-BL 材質：ステンレス鋼製(SUS316L ダブルメルト材) 最高使用圧力(MPa)：1 最高使用温度(℃)：450 最低使用温度(℃)：-196 接続形式： メタルガスケット式 特徴： 特殊材料ガス,高圧ガス大臣認定品,真空
ユニオンガスケット式継手
UJR-ING-NI-0-BL シリーズ 代表品番：UJR-3.2G-NI-0-BL 材質：ニッケル 最高使用圧力(MPa)：1 最高使用温度(℃)：450 最低使用温度(℃)：-196 接続形式： メタルガスケット式 特徴： 特殊材料ガス,高圧ガス大臣認定品,真空
ユニオンガスケット式継手
UJR-ING-NI-0-BL シリーズ 代表品番：UJR-6.35G-NI-0-BL 材質：ニッケル 最高使用圧力(MPa)：1 最高使用温度(℃)：450 最低使用温度(℃)：-196 接続形式： メタルガスケット式 特徴： 特殊材料ガス,高圧ガス大臣認定品,真空
ユニオンガスケット式継手
UJR-JPB-DMJ シリーズ 代表品番：UJR-JPB-6.35-DMJ 材質：ステンレス鋼製(SUS316L) 最高使用圧力(MPa)：1 最高使用温度(℃)：450 最低使用温度(℃)：-196 接続形式： メタルガスケット式 特徴： 特殊材料ガス,高圧ガス大臣認定品,真空
手動グローブタイプニードルバルブ
DS-11 シリーズ 代表品番：DS-11A-R 材質：黄銅製(C3771B) 最高使用圧力(MPa)：1 最高使用温度(℃)：80 最低使用温度(℃)：-20 接続形式： ねじ込み式
手動アングルタイプニードルバルブ
DS-31 シリーズ 代表品番：DS-31A-R 材質：黄銅製(C3771B) 最高使用圧力(MPa)：1 最高使用温度(℃)：80 最低使用温度(℃)：-20 接続形式： ねじ込み式
自動グローブタイプメタルダイヤフラムバルブ
FPR-NSD シリーズ 代表品番：FPR-NSD-71SS2-6.35#B 材質：ステンレス鋼製(SUS316L) 最高使用圧力(MPa)：1 最高使用温度(℃)：40 最低使用温度(℃)：-10 接続形式： メタルガスケット式 特徴： 特殊材料ガス,微量調整可,真空
自動グローブタイプメタルダイヤフラムバルブ
FPR-ND シリーズ 代表品番：FPR-ND-71SS2-9.52#B 材質：ステンレス鋼製(SUS316L) 最高使用圧力(MPa)：1 最高使用温度(℃)：40 最低使用温度(℃)：-10 接続形式： メタルガスケット式 特徴： 特殊材料ガス,微量調整可,真空
自動グローブタイプメタルダイヤフラムバルブ
FWB-71 シリーズ 代表品番：FWB-71-6.35#A 材質：ステンレス鋼製(SUS316L ダブルメルト材) 最高使用圧力(MPa)：1 最高使用温度(℃)：300 最低使用温度(℃)：-10 接続形式： メタルガスケット式 特徴： 特殊材料ガス,真空
自動グローブタイプメタルダイヤフラムバルブ
FWB-71-2 シリーズ 代表品番：FWB-71-6.35-2#A 材質：ステンレス鋼製(SUS316L ダブルメルト材) 最高使用圧力(MPa)：1 最高使用温度(℃)：300 最低使用温度(℃)：-10 接続形式： メタルガスケット式 特徴： 特殊材料ガス,真空
自動グローブタイプメタルダイヤフラムバルブ
FWBR-71 シリーズ 代表品番：FWBR-71-6.35#A 材質：ステンレス鋼製(SUS316L ダブルメルト材) 最高使用圧力(MPa)：1 最高使用温度(℃)：300 最低使用温度(℃)：-10 接続形式： メタルガスケット式 特徴： 特殊材料ガス,真空
自動グローブタイプメタルダイヤフラムバルブ
FWBR-71-2 シリーズ 代表品番：FWBR-71-6.35-2#A 材質：ステンレス鋼製(SUS316L ダブルメルト材) 最高使用圧力(MPa)：1 最高使用温度(℃)：300 最低使用温度(℃)：-10 接続形式： メタルガスケット式 特徴： 特殊材料ガス,真空
自動グローブタイプメタルダイヤフラムバルブ
FWBR-71-ATS シリーズ 代表品番：FWBR-71-6.35-ATS#A 材質：ステンレス鋼製(SUS316L ダブルメルト材) 最高使用圧力(MPa)：1 最高使用温度(℃)：300 最低使用温度(℃)：-10 接続形式： メタルガスケット式 特徴： 特殊材料ガス,真空
大流量バルブ 極み メタルガスケット式
FUBD-71G シリーズ 手動グローブタイプメタルダイヤフラムバルブ（インチサイズ） 代表品番：FUBD-71G-12.7#A 材質：ステンレス鋼製(SUS316L) 最高使用圧力(MPa)：1 最高使用温度(℃)：40 最低使用温度(℃)：-10 接続形式： メタルガスケット式 特徴： 特殊材料ガス
自動グローブタイプメタルダイヤフラムバルブ
FPR-NHD-71 シリーズ 代表品番：FPR-NHD-71-6.35#A 材質：ステンレス鋼製(SUS316L) 最高使用圧力(MPa)：1 最高使用温度(℃)：80 最低使用温度(℃)：-10 接続形式： メタルガスケット式 特徴： 特殊材料ガス,真空
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