高純度ガス 製品自動分析システム

• 各種分析計に接続することで、　主に電子材料用高純度ガスの製品ボンベを複数本から自動で、　かつ誰が操作しても確実に安定した不純物分析を行うシステムです

流量・圧力・温度制御デモユニット

• 複数のガス（最大4種類）をデッドスペースゼロでガス切替供給
• 各種流体制御機器により、様々な条件でのデモが可能
• ガス加熱器とマントルヒーターによる試験容器内のガス温度の高精度な制御
• PLC制御ユニット、タッチパネル搭載

バルブシミュレータ

• 取手付きで持ち運び可能な小型サイズ
• タッチパネルによる簡単操作
• バルブ開閉操作を自動制御（最大24台）
• 自動化工程の設計入力（10点×50STEP）

次世代型 自動分析サンプリングシステム

• ガスのサンプリングから流量・圧力・温度※の調整、分析計への送り出しから廃棄までを自動化
  ※測定対象となる流体の状態によります
• 流路切替・流体制御を兼ね備えた、コンパクトなユニットを設計
  占有領域を気にせず配置可能に
• ハイレベルな配管内面処理と、高次元の流体制御により、　測定の誤差やばらつきを減少させます

濃度信号出力ユニット