真空部品、これを用いた真空排気方法
超省エネ、無振動、省スペースの超高真空ゲッターポンプ
【効果】
従来のNEGコーティングの寿命に関する課題を解決。ポンプなしで超高真空を維持したいデバイスや清浄真空化がすすむ半導体プロセス装置にも採用可能。半導体や分析装置の超高真空化を省エネ、無振動、省スペースで実現が可能となる。
【希望】
ライセンス契約を希望します。
◎関連動画リンク
https://youtu.be/VVsWQ7MXJzc
| 文献番号 | 特許第7195504号 |
|---|---|
| 資料請求番号 | 22040004 |
| 用途 | 半導体用バキュームスーツケース、電子顕微鏡の真空容器や、その他超高真空化の進む分析装置や粒子加速器をはじめとする大型超高真空システムにも好適に用いられる。 |
| 技術内容 | 本発明は、超高真空を実現するために、チタンの気体吸着作用に着目し、真空容器自身をゲッターポンプとして機能させる発明である。チタンの表面を改質することで、真空容器をゲッターポンプとして機能させ、駆動電源がなくても封止状態で真空容器の超高真空を実現できる。さらに、大気暴露後であっても加熱工程による活性化により排気能力を回復させ、ゲッター性能を長期間にわたり維持できる。 |
| 権利者 | 国立研究開発法人日本原子力研究開発機構 |
| 権利者関連リンク | 耐熱磁気センサ 超音波による温度測定方法及び探傷方法、超音波による温度、欠陥の測定方法ならびにその測定装置 |
(敬称略)