知財戦略情報誌「NewテクノマートSO(創)」

フレキシブルプリント板、電子ペーパー、太陽電池、薄型表示素子等の電子応用製品では薄いシート状の高分子シートや金属シートの実用化が進みだしている。　多くの製品ではこの表面に金属、酸化物、高分子その他各種材料の薄膜を成膜することが必要とされている。　一般的にロールtoロールと言われる製造方法で、多くの場合、複数の材料を順次積層する必要がある。　積層構造によっては成膜速度の違いを、連結する真空チャンバー数で調整し、システムトータルで処理能力を向上させる場合や、処理条件が異なる材料の連続積層する場合に、本発明は非常に有効な手法である。
まず第一にワークである帯状シートの送り部が狭い隙間のため、相互に接続された真空チャンバーの相互干渉を防止できるという技術的メリットが大きい。第二に、多くの真空チャンバーを連続接続することは、各々の真空チャンバーユニットに高精度が必要となり、膨大な設置工数と調整、検査作業を要し、且つ、振動、地震等による被害も受けやすい。　本発明では、連通穴部が柔軟性と可撓性がある材料でシールされるため、ユニットの製造コスト低減と設置、調整、検査工数が大幅に短縮できる。なおかつ、その後の振動等によるリーク発生の心配が少なく、信頼性も高い。