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超知財・人財宝®・技財・資財 戦略情報誌 Newテクノマート「SO(創)」

超知財・人財宝戦略情報誌 Newテクノマート「SO(創)」

インラインスパッタ装置

ロールtoロールのシートスパッタ装置の決定版

インラインスパッタ装置
インラインスパッタ装置
インラインスパッタ装置

フレキシブルプリント板、電子ペーパー、太陽電池、薄型表示素子等の電子応用製品では薄いシート状の高分子シートや金属シートの実用化が進みだしている。 多くの製品ではこの表面に金属、酸化物、高分子その他各種材料の薄膜を成膜することが必要とされている。 一般的にロールtoロールと言われる製造方法で、多くの場合、複数の材料を順次積層する必要がある。 積層構造によっては成膜速度の違いを、連結する真空チャンバー数で調整し、システムトータルで処理能力を向上させる場合や、処理条件が異なる材料の連続積層する場合に、本発明は非常に有効な手法である。
まず第一にワークである帯状シートの送り部が狭い隙間のため、相互に接続された真空チャンバーの相互干渉を防止できるという技術的メリットが大きい。第二に、多くの真空チャンバーを連続接続することは、各々の真空チャンバーユニットに高精度が必要となり、膨大な設置工数と調整、検査作業を要し、且つ、振動、地震等による被害も受けやすい。 本発明では、連通穴部が柔軟性と可撓性がある材料でシールされるため、ユニットの製造コスト低減と設置、調整、検査工数が大幅に短縮できる。なおかつ、その後の振動等によるリーク発生の心配が少なく、信頼性も高い。

文献番号特許第4693050号
資料請求番号12020017
用途フレキシブルプリント板、電子ペーパー、太陽電池、フレキシブル液晶パネル、フレキシブル有機ELパネル、薄型シートへの各種スパッタ
技術内容帯状シートを真空中で連続的に複数の真空チャンバー中を移動しながらスパッタ成膜する装置の連結接合方式に関する特許。
(1) スパッタ成膜処理を行う真空チャンバーともう一つの真空チャンバーとの間を、
帯状シート厚さの10倍以内の狭い隙間を持つ、連通穴部でつなげていること。
(2)連通穴部は一方の真空チャンバーの基礎部分から機械的に支持されていること。
(3)一つの真空チャンバーの連通穴部と隣り合うもう一つの連通穴部が、組み合わされO―リング等の柔軟性と可撓性がある材料で2つの連通穴部を真空シールしていること。
権利者株式会社ライク
技術関連リンク同軸磁化プラズマ生成装置
同軸磁化プラズマ生成装置と同軸磁化プラズマ生成装置を用いた膜形成装置
インラインスパッタ装置:PDFダウンロード

(敬称略)

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