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超知財・人財宝®・技財・資財 戦略情報誌 Newテクノマート「SO(創)」

超知財・人財宝戦略情報誌 Newテクノマート「SO(創)」

同軸磁化プラズマ生成装置

高効率・高輝度、電極の長寿命化を可能にする

同軸磁化プラズマ生成装置

高効率・高輝度なプラズマの生成。
電極の長寿命化、デブリによる窓の曇りや損傷の軽減が可能。


【HP】
学校法人 日本大学 産官学連携知財センター(NUBIC)
http://www.nubic.jp

文献番号特許第5532720号
資料請求番号14080003
用途プラズマの生成
EUV光源、医療・検査用X線光源への応用
技術内容本発明は、高効率・高輝度、かつ電極の長寿命化、デブリによる損傷の軽減を可能にした、スフェロマックプラズマを生成する同軸磁化プラズマ生成装置である。
同軸磁化プラズマ生成装置に用いられる電源回路では、立ち上がり特性を急峻にするために、コンデンサの容量を小さくする必要がある。しかし、コンデンサの容量が小さいことで負荷電流は短時間で減衰してしまい、長時間プラズマを発光させることが難しかった。また、高効率な発光を得るために、それに見合う高電圧の充放電回路等が必要となり、絶縁やノイズ等、EUV光源やX線光源に適用する上で問題となっていた。さらに、直流的な長パルス放電のために、熱負荷による電極の損傷による電極の短寿命化、削りとられた電極素材デブリによる装置損傷が存在した。
以上の問題から、電源回路にはデューティ比が変更される連続パルス信号を印加することを特徴とした、図に示すような同軸磁化プラズマ生成装置を発明した。
また、本装置では絶縁ゲートバイポーラトランジスタ、コンデンサ及び抵抗の並列回路並びにこれに直列に接続されるダイオードからなるスナバ回路を具備することが好ましい。スナバ回路は絶縁ゲートバイポーラトランジスタに並列に接続され、そのコンデンサは複数の並列及び直列に接続されるコンデンサ群からなる。
権利者学校法人 日本大学
技術関連リンクプラズマ温度制御装置
インラインスパッタ装置
権利者関連リンク同軸磁化プラズマ生成装置と同軸磁化プラズマ生成装置を用いた膜形成装置
リベットによる板材の接合方法、接合構造
微小バブル発生装置、微小吐出孔ノズル及びその製造方法
3-デアザプリンヌクレオシド誘導体、3-デアザプリンヌクレオチド誘導体及びポリヌクレオチド誘導体
シメン及びリモネンの合成方法
文字入力装置、文字入力方法およびプログラム
化合物、分散剤、複合体および分散液
回生ブレーキシステム
同軸磁化プラズマ生成装置:PDFダウンロード

(敬称略)

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