最高清浄度クリーンルーム クラス1のクリーンルームで生まれる半導体製造用超精密バルブ機器

思わず深呼吸したくなる、森の澄んだ空気。けれど、その空気約30ℓの中には0.0005mm以上のホコリ(微粒子)が10,000個から100,000個含まれているといわれます。

一方、フジキンが誇る世界最高水準(クラス1)のクリーンルームで同じ容積の空気中に含まれているのは、より小さな0.0001mm以上の微粒子が1個以下。まるで桁違いの清浄度です。では、なぜこれほどクリーンな環境が必要なのでしょうか。

クラス1のクリーンルームのイメージ画像 微細なホコリでも付着すれば、チップは不良品になります。
製造に使う機器も、究極の洗浄度が必須に!

フジキンがクラス1のクリーンルームで生産しているのは、半導体製造用の超精密バルブ機器。超微量のガスをコントロールして半導体チップ上に薄い膜を形成したり、エッチング加工したりするための機器です。

半導体は、パソコンや携帯電話から家電製品、さらに自動車などの輸送機器や医療・健康機器まであらゆる分野に用いられ、もはや私たちの暮らしになくてはならない存在です。こうした用途の広がりは急速な技術の進化に支えられてきました。半導体チップにつくり込まれる素子の数は飛躍的に増大し、回路の幅は今や髪の毛の約5,000分の1、ウイルスよりもはるかに微細になっています。

このため、ほんの小さなホコリや汚れが付着しても素子や回路の形成がうまくいかず、そのチップは不良品になってしまいます。 このようなトラブルをなくすため、高性能な半導体は最高水準のクリーンルームで製造され、そこで用いられる機器にも究極の清浄度が求められるのです。

半導体チップの回路幅は髪の毛の約5000分の1

フジキンが業界に先駆けてクリーンルームを導入したのは、今から約40年前の1976年。宇宙ロケット用バルブを製造するためでした。

これが、のちに半導体製造用バルブの開発につながり、半導体加工の微細化に対応するため、より高性能なクリーンルームを次々と新設。1989年には、初めにご紹介したクラス1のクリーンルームが完成します。バルブ業界だけでなく、日本で初めての画期的な出来事でした。

現在では4室のクラス1クリーンルームをはじめ、必要な清浄度に合わせて計10室のクリーンルームを日本国内に備えています。

クラス1のクリーンルーム

清浄度を高めるためのチャレンジは、クリーンルームだけに留まりません。バルブを開閉する際のわずかな接触による微粒子の発生を抑え、ガスの通路に微粒子が付着しにくいUP(ウルトラピュア)研磨処理を施したダイレクトダイヤフラムバルブを、業界に先駆けて開発したのもそのひとつです。

また、超精密バルブや流量制御装置などをシステム化した「集積化ガス供給システムIGS®」は、2005年に内閣総理大臣表彰「第一回ものづくり日本大賞 優秀賞」を受賞。世界最高水準のクリーンな環境で生み出される半導体製造用バルブ機器は、国内で約65%、世界で約40%のシェアを誇っています。

日常生活ではありえないクリーンな環境で生まれ、想像を超える微細な加工を実現するフジキンの半導体製造用バルブ機器。あなたの目に直接触れることはないかもしれませんが、今ご覧になっているパソコンやスマートホンの半導体にも、その高度な技術が活かされているに違いありません。

鏡面のように内面がピカピカに研磨されています!
キャビアフィッシュ(チョウザメ)ガイド チョウザメ事業
フジキンの歩みは、いつも技術へのこだわり。フジキンの歩みは、いつも技術へのこだわり。