電子バルブの
歴史を開いたSR100
フジキンでは、お客様のニーズに合わせてさまざまなセンサーを搭載したバルブを開発してきました。
例えば、弁の開き具合を検知するポテンショメーターを内蔵し、電磁制御で弁を開閉する電子バルブ「PRETRONIC® SR100」もその一つ。全開⇔全閉の開閉時間は0.6秒以下で、すばやく正確に思いどおりの流量を実現できます。
この電子バルブをコンピューターで精密にコントロールする技術を開発し、フジキンが特許を出願したのは1978年のことでした。日本ではようやく初期のパソコンが市場にデビューした時代。東京大学、東京工業大学、慶応義塾大学を結んで日本初のインターネットが実験的にスタートしたのはそれから6年後の1984年で、一般家庭のインターネット普及率が10%を超えたのは、さらに14年後の1998年です。
さまざまなモノがインターネットと結ばれるIoT時代の到来など、まったく想像できなかった時代に、IoTの概念をバルブに導入し、コンピューターと有線のアナログ通信を使ってバルブの流量コントロールを実現したフジキンの技術は画期的なものでした。
その後、コンピューターの処理速度の向上に合わせてバルブを高速かつ精密に制御するため、バルブの構造や加工方法などにさまざまな技術と工夫を凝らし、フジキンの電子バルブは進化を遂げてきました。
半導体製造を支えて
AI・IoT時代を築くFCS®
開発から40年の歳月を経た電子バルブが、現在、活躍のメインステージとしているのが半導体製造の世界です。
パソコンや携帯電話はもちろん、家電製品や自動車、医療機器まで身のまわりのいたるところで使用されている半導体は、今や私たちの暮らしや社会の営みに不可欠の存在です。期待が高まるAIやIoTの未来も、半導体の進化なしには考えられません。
半導体のチップ上に集積される素子の数は年を追うごとに飛躍的に増加し、最先端の半導体チップにつくり込まれる回路幅は、もはやウイルスよりも微細になりました。そうした精密技術が求められる半導体製造の過程で、超微量のガスを巧みに制御して極めて薄い膜を形成したり、エッチング加工を行ったりしているのがフジキンの「フローコントロールシステムFCS®」シリーズです。
超精密電子バルブと圧力センサーによる流量制御装置を組み合わせることで、ガスの供給側に圧力変動があっても送り出すガス流量を正確にコントロールする能力を備え、国内外の半導体製造工程で重要な役割を担っています。
さらに、こうした装置を複数台一体化して多様なガスを省スペースでコントロールする「集積化ガスシステムIGS®」も開発。フジキンの超精密バルブやシステムが、半導体製造を通じて本格的なAI・IoT時代の到来に寄与しています。
