マスフローコントローラ 製品シリーズ一覧

マスフローコントローラ

FCSDS-T2000シリーズ 代表品番:
シリーズ概要：
特長
・対応ガス:AsH3,BF3,PH3,SiF4,PF3
・マルチレンジモデルも対応:ロータリースイッチによるガス種切替仕様

マスフローコントローラ

FCS-G200シリーズ 代表品番:
シリーズ概要：
特長
・アナログ信号による流量計測と制御機能に特化
・制御電源一体化ユニットも対応

マスフローコントローラ

FCS-T2000シリーズ 代表品番:
シリーズ概要：
特長
・ピエゾアクチュエータ搭載
・低温度熱式流量センサ(反応性の高いガスや安定性の低いガスに有利)
・微小流量対応

マスフローコントローラ

FSC-G300シリーズ 代表品番:
シリーズ概要：
特長
・流量精度 ±1%F.S.
・ピエゾアクチュエータ搭載

マスフローコントローラ

FCS-T1000MPシリーズ 代表品番:
シリーズ概要：
特長
・ＰＩ機能搭載　
　圧力センサー内蔵、急激な圧力変動による影響を極限まで軽減
・MGMR(マルチガス、マルチレンジ)機能
・耐食ハステロイセンサ搭載
・高流量精度:±1%S.P.

マスフローコントローラ

FCS-T1000Zシリーズ 代表品番:
シリーズ概要：
特長
・MGMR(マルチガス、マルチレンジ)機能
・耐食ハステロイセンサ搭載
・高流量精度:±1%S.P.

マスフローコントローラ

FCS-T1000Fシリーズ 代表品番:
シリーズ概要：
特長
・高速応答 1sec以内（全流量域）
・流量制御、モニタリングソフト
・多種通信方式に対応
・特殊仕様対応(高圧仕様、低差圧仕様、高差圧仕様等)

マスフローコントローラ

FCS-T1000M(Z)F-HTシリーズ 代表品番:
シリーズ概要：
特長
・高温対応 50～80℃

マスフローコントローラ

FCS-T1000Lシリーズ 代表品番:
シリーズ概要：
特長
・流量精度 ±1%F.S.
・入出力 アナログ(0-5VDC)
・応答速度 1sec以内

自動圧力制御コントローラ

PCS-T1000Fシリーズ 代表品番:
シリーズ概要：
特長
・外部圧力センサからの信号による上流側又は下流側の圧力制御
・流量出力 0～5VDC

表示器一体型マスフローメータ

FCS-TM39シリーズ 代表品番:
シリーズ概要：
特長
・表示器一体型モデル
・外部流量出力
・ニードルバルブ一体モデルも対応
・流量積算、上下限警報出力

マスフローコントローラ

FCS-T1200Fシリーズ 代表品番:
シリーズ概要：
特長
・大流量モデル
・流量精度 ±1%F.S.
・応答速度 3sec以内

マスフローコントローラ

FCS-T1500Fシリーズ 代表品番:
シリーズ概要：
特長
・大流量モデル
・流量精度 ±2%F.S.
・応答速度 3sec以内

マスフローコントローラ

FCS-T1200MF-HTシリーズ 代表品番:
シリーズ概要：
特長
・高温対応 50～80℃