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エレクトロニクス > その他

フジキンが関るエレクトロニクス産業は、半導体業界、FPD（フラットパネルディスプレイ）業界、LED（化合物半導体）業界、太陽電池（ソーラー）業界の四種類となります。これら業界のお客様のご要求に応える為、また、お客様の保安・安全・安心のもと、吾々FCGが取組んだ技術開発テーマは、①接ガス・接液部完全禁油、②特殊精密仕上げ、③超清浄度管理の三種類です。エレクトロニクス産業のデバイス製造装置の約７０％は高真空を利用したプロセスです。その代表的な製造装置は、洗浄装置、プラズマCVD装置、イオン注入装置、アニール装置、スパッタリング装置等であり、フジキンの使命は、小さなバルブ・継手に大きな使命と共に、高純度流体をプロセスのユーズポイントまで、純度を落とすことなく供給する技術を支えております。高真空を保持する事、清浄度を管理する事、長期信頼性を確保する事を目標に生産しております。バルブ・継手は、ステンレスバルブだけでなく、特殊材料にも対応しています。エレクトロニクス産業のフローコントロールシステム（流れ制御機器）をお客様の用途に応じてご提案をさせて頂きます。　FPD製造装置やLED製造装置向けバルブ・継手も同様の性能を維持できるようにしております。

  • 用途イメージ・関連用語:
  • 半導体製造
  • FPD製造
  • 太陽電池製造
  • LED製造
  • 洗浄装置
  • エッチング装置
  • CVD装置
  • スパッタリング装置
  • イオン注入装置
  • 真空蒸着装置
  • アッシング装置
  • アニール装置
  • 真空炉
  • 高耐久性
  • 高真空対応
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  • 高気密性
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シリーズ／製品
    FINE series PURE スタンダード series

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    FINE series PURE スタンダード series（R・Rcねじ接続） 品番:FUFL-115A 呼び径（サイズ）： Rc1/8
    材質：ステンレス鋼製(SUS316) 最高使用圧力(MPa)：16.2 最高使用温度(℃)：100　最低使用温度(℃)：-10 接続形式： ねじ込み式 特徴： 高圧ガス大臣認定品
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  • FINE series PURE スタンダード series

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    FINE series PURE スタンダード series（R・Rcねじ接続） 品番:FUFL-115B 呼び径（サイズ）： Rc1/4
    材質：ステンレス鋼製(SUS316) 最高使用圧力(MPa)：16.2 最高使用温度(℃)：100　最低使用温度(℃)：-10 接続形式： ねじ込み式 特徴： 高圧ガス大臣認定品
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    FINE series PURE スタンダード series（R・Rcねじ接続） 品番:FUFL-115C 呼び径（サイズ）： Rc3/8
    材質：ステンレス鋼製(SUS316) 最高使用圧力(MPa)：16.2 最高使用温度(℃)：100　最低使用温度(℃)：-10 接続形式： ねじ込み式 特徴： 高圧ガス大臣認定品
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  • FINE series PURE スタンダード series

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    FINE series PURE スタンダード series（R・Rcねじ接続） 品番:FUFL-115D 呼び径（サイズ）： Rc1/2
    材質：ステンレス鋼製(SUS316) 最高使用圧力(MPa)：16.2 最高使用温度(℃)：100　最低使用温度(℃)：-10 接続形式： ねじ込み式 特徴： 高圧ガス大臣認定品
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    FINE series PURE スタンダード series（インチサイズ） 品番:FUFL-915-6.35 呼び径（サイズ）： 6.35mm
    材質：ステンレス鋼製(SUS316) 最高使用圧力(MPa)：16.2 最高使用温度(℃)：100　最低使用温度(℃)：-10 接続形式： 2圧縮リング方式 特徴： 高圧ガス大臣認定品
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    FINE series PURE スタンダード series（インチサイズ） 品番:FUFL-915-9.52 呼び径（サイズ）： 9.52mm
    材質：ステンレス鋼製(SUS316) 最高使用圧力(MPa)：16.2 最高使用温度(℃)：100　最低使用温度(℃)：-10 接続形式： 2圧縮リング方式 特徴： 高圧ガス大臣認定品
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    FINE series PURE スタンダード series（インチサイズ） 品番:FUFL-915-12.7 呼び径（サイズ）： 12.7mm
    材質：ステンレス鋼製(SUS316) 最高使用圧力(MPa)：16.2 最高使用温度(℃)：100　最低使用温度(℃)：-10 接続形式： 2圧縮リング方式 特徴： 高圧ガス大臣認定品
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    FINE series PURE スタンダード series（インチサイズ） 品番:FUFL-715-6.35 呼び径（サイズ）： 6.35mm
    材質：ステンレス鋼製(SUS316) 最高使用圧力(MPa)：16.2 最高使用温度(℃)：100　最低使用温度(℃)：-10 接続形式： メタルガスケット式 特徴： 高圧ガス大臣認定品
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    FINE series PURE スタンダード series（インチサイズ） 品番:FUFL-715-9.52 呼び径（サイズ）： 9.52mm
    材質：ステンレス鋼製(SUS316) 最高使用圧力(MPa)：16.2 最高使用温度(℃)：100　最低使用温度(℃)：-10 接続形式： メタルガスケット式 特徴： 高圧ガス大臣認定品
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    FINE series PURE スタンダード series（R・Rcねじ接続） 品番:FUFT-115A 呼び径（サイズ）： Rc1/8
    材質：ステンレス鋼製(SUS316) 最高使用圧力(MPa)：16.2 最高使用温度(℃)：100　最低使用温度(℃)：-10 接続形式： ねじ込み式 特徴： 高圧ガス大臣認定品
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    FINE series PURE スタンダード series（R・Rcねじ接続） 品番:FUFT-115B 呼び径（サイズ）： Rc1/4
    材質：ステンレス鋼製(SUS316) 最高使用圧力(MPa)：16.2 最高使用温度(℃)：100　最低使用温度(℃)：-10 接続形式： ねじ込み式 特徴： 高圧ガス大臣認定品
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    FINE series PURE スタンダード series（R・Rcねじ接続） 品番:FUFT-115C 呼び径（サイズ）： Rc3/8
    材質：ステンレス鋼製(SUS316) 最高使用圧力(MPa)：16.2 最高使用温度(℃)：100　最低使用温度(℃)：-10 接続形式： ねじ込み式 特徴： 高圧ガス大臣認定品
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  • FINE series PURE スタンダード series

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    FINE series PURE スタンダード series（R・Rcねじ接続） 品番:FUFT-115D 呼び径（サイズ）： Rc1/2
    材質：ステンレス鋼製(SUS316) 最高使用圧力(MPa)：16.2 最高使用温度(℃)：100　最低使用温度(℃)：-10 接続形式： ねじ込み式 特徴： 高圧ガス大臣認定品
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  • FINE series PURE スタンダード series

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    FINE series PURE スタンダード series（インチサイズ） 品番:FUFT-915-6.35 呼び径（サイズ）： 6.35mm
    材質：ステンレス鋼製(SUS316) 最高使用圧力(MPa)：16.2 最高使用温度(℃)：100　最低使用温度(℃)：-10 接続形式： 2圧縮リング方式 特徴： 高圧ガス大臣認定品
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  • FINE series PURE スタンダード series

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    FINE series PURE スタンダード series（インチサイズ） 品番:FUFT-915-9.52 呼び径（サイズ）： 9.52mm
    材質：ステンレス鋼製(SUS316) 最高使用圧力(MPa)：16.2 最高使用温度(℃)：100　最低使用温度(℃)：-10 接続形式： 2圧縮リング方式 特徴： 高圧ガス大臣認定品
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  • FINE series PURE スタンダード series

    FINE series PURE スタンダード series

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    FINE series PURE スタンダード series（インチサイズ） 品番:FUFT-915-12.7 呼び径（サイズ）： 12.7mm
    材質：ステンレス鋼製(SUS316) 最高使用圧力(MPa)：16.2 最高使用温度(℃)：100　最低使用温度(℃)：-10 接続形式： 2圧縮リング方式 特徴： 高圧ガス大臣認定品
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  • FINE series PURE スタンダード series

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    FUFL シリーズ 代表品番：FUFL-115A
    材質：ステンレス鋼製(SUS316) 最高使用圧力(MPa)：16.2 最高使用温度(℃)：100　最低使用温度(℃)：-10 接続形式： ねじ込み式 特徴： 高圧ガス大臣認定品
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    FUFL シリーズ 代表品番：FUFL-915-6.35
    材質：ステンレス鋼製(SUS316) 最高使用圧力(MPa)：16.2 最高使用温度(℃)：100　最低使用温度(℃)：-10 接続形式： 2圧縮リング方式 特徴： 高圧ガス大臣認定品
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    FUFL シリーズ 代表品番：FUFL-715-6.35
    材質：ステンレス鋼製(SUS316) 最高使用圧力(MPa)：16.2 最高使用温度(℃)：100　最低使用温度(℃)：-10 接続形式： メタルガスケット式 特徴： 高圧ガス大臣認定品
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    FUFT シリーズ 代表品番：FUFT-115A
    材質：ステンレス鋼製(SUS316) 最高使用圧力(MPa)：16.2 最高使用温度(℃)：100　最低使用温度(℃)：-10 接続形式： ねじ込み式 特徴： 高圧ガス大臣認定品
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