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エレクトロニクス > バルブ

フジキンが関るエレクトロニクス産業は、半導体業界、FPD（フラットパネルディスプレイ）業界、LED（化合物半導体）業界、太陽電池（ソーラー）業界の四種類となります。これら業界のお客様のご要求に応える為、また、お客様の保安・安全・安心のもと、吾々FCGが取組んだ技術開発テーマは、①接ガス・接液部完全禁油、②特殊精密仕上げ、③超清浄度管理の三種類です。エレクトロニクス産業のデバイス製造装置の約７０％は高真空を利用したプロセスです。その代表的な製造装置は、洗浄装置、プラズマCVD装置、イオン注入装置、アニール装置、スパッタリング装置等であり、フジキンの使命は、小さなバルブ・継手に大きな使命と共に、高純度流体をプロセスのユーズポイントまで、純度を落とすことなく供給する技術を支えております。高真空を保持する事、清浄度を管理する事、長期信頼性を確保する事を目標に生産しております。バルブ・継手は、ステンレスバルブだけでなく、特殊材料にも対応しています。エレクトロニクス産業のフローコントロールシステム（流れ制御機器）をお客様の用途に応じてご提案をさせて頂きます。　FPD製造装置やLED製造装置向けバルブ・継手も同様の性能を維持できるようにしております。

  • 用途イメージ・関連用語:
  • 半導体製造
  • FPD製造
  • 太陽電池製造
  • LED製造
  • 洗浄装置
  • エッチング装置
  • CVD装置
  • スパッタリング装置
  • イオン注入装置
  • 真空蒸着装置
  • アッシング装置
  • アニール装置
  • 真空炉
  • 高耐久性
  • 高真空対応
  • 高洗浄度
  • コンパクト
  • 特殊ガス対応
  • 高純度材料
  • 高気密性
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最高使用圧力(MPa)
最高使用温度(℃)
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材質
接続形式
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クリーン度
特徴
呼び径
シリーズ／製品
    LPS VALVES

    手動ウエアレスダイヤフラムバルブ

    LPS VALVES 品番:LPSM-0.75-7-PE 呼び径（サイズ）： 15A(ISO 2852)
    材質：ステンレス鋼製(SUS316L) 最高使用圧力(MPa)：0.8 最高使用温度(℃)：140　最低使用温度(℃)：0 接続形式： クランプ
    CADデータ：
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  • LPS VALVES

    LPS VALVES

    ￥68,761

    数量
    • LPS VALVES

    手動ウエアレスダイヤフラムバルブ

    LPS VALVES 品番:LPSM-1-7-PE 呼び径（サイズ）： 1S(ISO 2852)
    材質：ステンレス鋼製(SUS316L) 最高使用圧力(MPa)：0.8 最高使用温度(℃)：140　最低使用温度(℃)：0 接続形式： クランプ
    CADデータ：
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  • LPS VALVES

    LPS VALVES

    ￥77,121

    数量
    • LPS VALVES

    手動ウエアレスダイヤフラムバルブ

    LPS VALVES 品番:LPSM-1.5-7-PE 呼び径（サイズ）： 1.5S(ISO 2852)
    材質：ステンレス鋼製(SUS316L) 最高使用圧力(MPa)：0.8 最高使用温度(℃)：140　最低使用温度(℃)：0 接続形式： クランプ
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  • LPS VALVES

    LPS VALVES

    ￥0

    • LPS VALVES

    手動ウエアレスダイヤフラムバルブ

    LPS VALVES 品番:LPSNM-2-7-PE 呼び径（サイズ）： 2S(ISO 2852)
    材質：ステンレス鋼製(SUS316L) 最高使用圧力(MPa)：0.8 最高使用温度(℃)：140　最低使用温度(℃)：0 接続形式： クランプ
    CADデータ：
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  • LPS VALVES

    LPS VALVES

    ￥139,821

    • FINE series PURE 可変式2段切換バルブ　極

    自動グローブタイプメタルダイヤフラムバルブ

    FINE series PURE 可変式2段切換バルブ　極 品番:FPR-NSD-71SS2-6.35#B 呼び径（サイズ）： 6.35mm
    材質：ステンレス鋼製(SUS316L) 最高使用圧力(MPa)：1 最高使用温度(℃)：40　最低使用温度(℃)：-10 接続形式： メタルガスケット式 特徴： 特殊材料ガス,微量調整可,真空
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  • FINE series PURE 可変式2段切換バルブ　極

    FINE series PURE 可変式2段切換バルブ　極

    ￥111,711

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    • FINE series PURE 可変式2段切換バルブ　極

    自動グローブタイプメタルダイヤフラムバルブ

    FINE series PURE 可変式2段切換バルブ　極 品番:FPR-ND-71SS2-9.52#B 呼び径（サイズ）： 9.52mm
    材質：ステンレス鋼製(SUS316L) 最高使用圧力(MPa)：1 最高使用温度(℃)：40　最低使用温度(℃)：-10 接続形式： メタルガスケット式 特徴： 特殊材料ガス,微量調整可,真空
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  • FINE series PURE 可変式2段切換バルブ　極

    FINE series PURE 可変式2段切換バルブ　極

    ￥0

    • FINE series PURE 高温バルブseries 極

    自動グローブタイプメタルダイヤフラムバルブ

    FINE series PURE 高温バルブseries 極 品番:FWB-71-6.35#A 呼び径（サイズ）： 6.35mm
    材質：ステンレス鋼製(SUS316L ダブルメルト材) 最高使用圧力(MPa)：1 最高使用温度(℃)：300　最低使用温度(℃)：-10 接続形式： メタルガスケット式 特徴： 特殊材料ガス,真空
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  • FINE series PURE 高温バルブseries 極

    FINE series PURE 高温バルブseries 極

    ￥0

    数量
    • FINE series PURE 高温バルブseries 極

    自動グローブタイプメタルダイヤフラムバルブ

    FINE series PURE 高温バルブseries 極 品番:FWB-71-9.52#A 呼び径（サイズ）： 9.52mm
    材質：ステンレス鋼製(SUS316L ダブルメルト材) 最高使用圧力(MPa)：1 最高使用温度(℃)：300　最低使用温度(℃)：-10 接続形式： メタルガスケット式 特徴： 特殊材料ガス,真空
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  • FINE series PURE 高温バルブseries 極

    FINE series PURE 高温バルブseries 極

    ￥259,056

    数量
    • FINE series PURE 高温バルブseries 極

    自動グローブタイプメタルダイヤフラムバルブ

    FINE series PURE 高温バルブseries 極 品番:FWB-71-6.35-2#A 呼び径（サイズ）： 6.35mm
    材質：ステンレス鋼製(SUS316L ダブルメルト材) 最高使用圧力(MPa)：1 最高使用温度(℃)：300　最低使用温度(℃)：-10 接続形式： メタルガスケット式 特徴： 特殊材料ガス,真空
    CADデータ：
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  • FINE series PURE 高温バルブseries 極

    FINE series PURE 高温バルブseries 極

    ￥0

    • FINE series PURE 高温バルブseries 極

    自動グローブタイプメタルダイヤフラムバルブ

    FINE series PURE 高温バルブseries 極 品番:FWB-71-9.52-2#A 呼び径（サイズ）： 9.52mm
    材質：ステンレス鋼製(SUS316L ダブルメルト材) 最高使用圧力(MPa)：1 最高使用温度(℃)：300　最低使用温度(℃)：-10 接続形式： メタルガスケット式 特徴： 特殊材料ガス,真空
    CADデータ：
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  • FINE series PURE 高温バルブseries 極

    FINE series PURE 高温バルブseries 極

    ￥0

    • FINE series PURE 高温バルブseries 極

    自動グローブタイプメタルダイヤフラムバルブ

    FINE series PURE 高温バルブseries 極 品番:FWBR-71-6.35#A 呼び径（サイズ）： 6.35mm
    材質：ステンレス鋼製(SUS316L ダブルメルト材) 最高使用圧力(MPa)：1 最高使用温度(℃)：300　最低使用温度(℃)：-10 接続形式： メタルガスケット式 特徴： 特殊材料ガス,真空
    CADデータ：
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  • FINE series PURE 高温バルブseries 極

    FINE series PURE 高温バルブseries 極

    ￥119,026

    数量
    • FINE series PURE 高温バルブseries 極

    自動グローブタイプメタルダイヤフラムバルブ

    FINE series PURE 高温バルブseries 極 品番:FWBR-71-9.52#A 呼び径（サイズ）： 9.52mm
    材質：ステンレス鋼製(SUS316L ダブルメルト材) 最高使用圧力(MPa)：1 最高使用温度(℃)：300　最低使用温度(℃)：-10 接続形式： メタルガスケット式 特徴： 特殊材料ガス,真空
    CADデータ：
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  • FINE series PURE 高温バルブseries 極

    FINE series PURE 高温バルブseries 極

    ￥166,573

    数量
    • FINE series PURE 高温バルブseries 極

    自動グローブタイプメタルダイヤフラムバルブ

    FINE series PURE 高温バルブseries 極 品番:FWBR-71-6.35-2#A 呼び径（サイズ）： 6.35mm
    材質：ステンレス鋼製(SUS316L ダブルメルト材) 最高使用圧力(MPa)：1 最高使用温度(℃)：300　最低使用温度(℃)：-10 接続形式： メタルガスケット式 特徴： 特殊材料ガス,真空
    CADデータ：
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  • FINE series PURE 高温バルブseries 極

    FINE series PURE 高温バルブseries 極

    ￥128,535

    数量
    • FINE series PURE 高温バルブseries 極

    自動グローブタイプメタルダイヤフラムバルブ

    FINE series PURE 高温バルブseries 極 品番:FWBR-71-9.52-2#A 呼び径（サイズ）： 9.52mm
    材質：ステンレス鋼製(SUS316L ダブルメルト材) 最高使用圧力(MPa)：1 最高使用温度(℃)：300　最低使用温度(℃)：-10 接続形式： メタルガスケット式 特徴： 特殊材料ガス,真空
    CADデータ：
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  • FINE series PURE 高温バルブseries 極

    FINE series PURE 高温バルブseries 極

    ￥178,277

    数量
    • FINE series PURE 高温バルブseries 極

    自動グローブタイプメタルダイヤフラムバルブ

    FINE series PURE 高温バルブseries 極 品番:FWBR-71-6.35-ATS#A 呼び径（サイズ）： 6.35mm
    材質：ステンレス鋼製(SUS316L ダブルメルト材) 最高使用圧力(MPa)：1 最高使用温度(℃)：300　最低使用温度(℃)：-10 接続形式： メタルガスケット式 特徴： 特殊材料ガス,真空
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  • FINE series PURE 高温バルブseries 極

    FINE series PURE 高温バルブseries 極

    ￥0

    数量
    • FINE series PURE 大流量バルブseries　極

    手動グローブタイプメタルダイヤフラムバルブ

    大流量バルブ 極み　メタルガスケット式 シリーズ FINE series PURE 大流量バルブseries　極（インチサイズ） 品番:FUBD-71G-12.7#A 呼び径（サイズ）： 12.7mm
    材質：ステンレス鋼製(SUS316L) 最高使用圧力(MPa)：1 最高使用温度(℃)：40　最低使用温度(℃)：-10 接続形式： メタルガスケット式 特徴： 特殊材料ガス
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  • FINE series PURE 大流量バルブseries　極

    FINE series PURE 大流量バルブseries　極

    ￥145,151

    数量
    • FINE series PURE 高耐久バルブ series　極

    自動グローブタイプメタルダイヤフラムバルブ

    FINE series PURE 高耐久バルブ series　極（インチサイズ） 品番:FPR-NHD-71-6.35#A 呼び径（サイズ）： 6.35mm
    材質：ステンレス鋼製(SUS316L) 最高使用圧力(MPa)：1 最高使用温度(℃)：80　最低使用温度(℃)：-10 接続形式： メタルガスケット式 特徴： 特殊材料ガス,真空
    CADデータ：
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  • FINE series PURE 高耐久バルブ series　極

    FINE series PURE 高耐久バルブ series　極

    ￥0

    • FINE series PURE 高耐久バルブ series　極

    自動グローブタイプメタルダイヤフラムバルブ

    FINE series PURE 高耐久バルブ series　極（インチサイズ） 品番:FPR-NHD-71-9.52#A 呼び径（サイズ）： 9.52mm
    材質：ステンレス鋼製(SUS316L) 最高使用圧力(MPa)：1 最高使用温度(℃)：80　最低使用温度(℃)：-10 接続形式： メタルガスケット式 特徴： 特殊材料ガス,真空
    CADデータ：
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  • FINE series PURE 高耐久バルブ series　極

    FINE series PURE 高耐久バルブ series　極

    ￥0

    • FINE series PURE 高耐久バルブ series　極

    自動グローブタイプメタルダイヤフラムバルブ

    FINE series PURE 高耐久バルブ series　極（インチサイズ） 品番:FSR-SD-71-6.35#A 呼び径（サイズ）： 6.35mm
    材質：ステンレス鋼製(SUS316L) 最高使用圧力(MPa)：1 最高使用温度(℃)：80　最低使用温度(℃)：-10 接続形式： メタルガスケット式 特徴： 特殊材料ガス,真空
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  • FINE series PURE 高耐久バルブ series　極

    FINE series PURE 高耐久バルブ series　極

    ￥0

    • フランジ式・バットウエルド式JIS10Kボールバルブ

    手動ボールバルブ

    フランジ式・バットウエルド式JIS10Kボールバルブ 品番:UBV-21-J10R-D-ALX 呼び径（サイズ）： 15A(JIS10K)
    材質：ステンレス鋳造(SCS13A) 最高使用圧力(MPa)：1 最高使用温度(℃)：60　最低使用温度(℃)：-10 接続形式： フランジ
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  • フランジ式・バットウエルド式JIS10Kボールバルブ

    フランジ式・バットウエルド式JIS10Kボールバルブ

    ￥11,704

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