エレクトロニクス > システム

フジキンが関るエレクトロニクス産業は、半導体業界、FPD（フラットパネルディスプレイ）業界、LED（化合物半導体）業界、太陽電池（ソーラー）業界の四種類となります。これら業界のお客様のご要求に応える為、また、お客様の保安・安全・安心のもと、吾々FCGが取組んだ技術開発テーマは、①接ガス・接液部完全禁油、②特殊精密仕上げ、③超清浄度管理の三種類です。エレクトロニクス産業のデバイス製造装置の約７０％は高真空を利用したプロセスです。その代表的な製造装置は、洗浄装置、プラズマCVD装置、イオン注入装置、アニール装置、スパッタリング装置等であり、フジキンの使命は、小さなバルブ・継手に大きな使命と共に、高純度流体をプロセスのユーズポイントまで、純度を落とすことなく供給する技術を支えております。高真空を保持する事、清浄度を管理する事、長期信頼性を確保する事を目標に生産しております。バルブ・継手は、ステンレスバルブだけでなく、特殊材料にも対応しています。エレクトロニクス産業のフローコントロールシステム（流れ制御機器）をお客様の用途に応じてご提案をさせて頂きます。　FPD製造装置やLED製造装置向けバルブ・継手も同様の性能を維持できるようにしております。

• 用途イメージ・関連用語:
• 半導体製造
• FPD製造
• 太陽電池製造
• LED製造
• 洗浄装置
• エッチング装置
• CVD装置
• スパッタリング装置
• イオン注入装置
• 真空蒸着装置
• アッシング装置
• アニール装置
• 真空炉
• 高耐久性
• 高真空対応
• 高洗浄度
• コンパクト
• 特殊ガス対応
• 高純度材料
• 高気密性