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エレクトロニクス > 継手

フジキンが関るエレクトロニクス産業は、半導体業界、FPD（フラットパネルディスプレイ）業界、LED（化合物半導体）業界、太陽電池（ソーラー）業界の四種類となります。これら業界のお客様のご要求に応える為、また、お客様の保安・安全・安心のもと、吾々FCGが取組んだ技術開発テーマは、①接ガス・接液部完全禁油、②特殊精密仕上げ、③超清浄度管理の三種類です。エレクトロニクス産業のデバイス製造装置の約７０％は高真空を利用したプロセスです。その代表的な製造装置は、洗浄装置、プラズマCVD装置、イオン注入装置、アニール装置、スパッタリング装置等であり、フジキンの使命は、小さなバルブ・継手に大きな使命と共に、高純度流体をプロセスのユーズポイントまで、純度を落とすことなく供給する技術を支えております。高真空を保持する事、清浄度を管理する事、長期信頼性を確保する事を目標に生産しております。バルブ・継手は、ステンレスバルブだけでなく、特殊材料にも対応しています。エレクトロニクス産業のフローコントロールシステム（流れ制御機器）をお客様の用途に応じてご提案をさせて頂きます。　FPD製造装置やLED製造装置向けバルブ・継手も同様の性能を維持できるようにしております。

  • 用途イメージ・関連用語:
  • 半導体製造
  • FPD製造
  • 太陽電池製造
  • LED製造
  • 洗浄装置
  • エッチング装置
  • CVD装置
  • スパッタリング装置
  • イオン注入装置
  • 真空蒸着装置
  • アッシング装置
  • アニール装置
  • 真空炉
  • 高耐久性
  • 高真空対応
  • 高洗浄度
  • コンパクト
  • 特殊ガス対応
  • 高純度材料
  • 高気密性
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    ユニオンガスケット式継手

    ユニオンガスケット式継手

    UJR-L シリーズ 代表品番：UJR-L-6.35
    材質：ステンレス鋼製(SUS316) 最高使用圧力(MPa)：21.5 最高使用温度(℃)：450　最低使用温度(℃)：-196 接続形式： メタルガスケット式 特徴： 特殊材料ガス,高圧ガス大臣認定品,真空
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    UJR-L シリーズ 代表品番：UJR-L-6.35A
    材質：ステンレス鋼製(SUS316) 最高使用圧力(MPa)：21.5 最高使用温度(℃)：450　最低使用温度(℃)：-196 接続形式： メタルガスケット式,ねじ込み式 Rねじ 特徴： 特殊材料ガス,真空
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    UJR-L シリーズ 代表品番：UJR-L-6.35AN
    材質：ステンレス鋼製(SUS316) 最高使用圧力(MPa)：21.5 最高使用温度(℃)：450　最低使用温度(℃)：-196 接続形式： メタルガスケット式,ねじ込み式 NPTおねじ 特徴： 特殊材料ガス,真空
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    UJR-T シリーズ 代表品番：UJR-T-3.2
    材質：ステンレス鋼製(SUS316) 最高使用圧力(MPa)：21.5 最高使用温度(℃)：450　最低使用温度(℃)：-196 接続形式： メタルガスケット式 特徴： 特殊材料ガス,高圧ガス大臣認定品,真空
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    UJR-T シリーズ 代表品番：UJR-T-6.35
    材質：ステンレス鋼製(SUS316) 最高使用圧力(MPa)：21.5 最高使用温度(℃)：450　最低使用温度(℃)：-196 接続形式： メタルガスケット式 特徴： 特殊材料ガス,高圧ガス大臣認定品,真空
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    UJR-X シリーズ 代表品番：UJR-X-3.2
    材質：ステンレス鋼製(SUS316) 最高使用圧力(MPa)：21.5 最高使用温度(℃)：450　最低使用温度(℃)：-196 接続形式： メタルガスケット式 特徴： 特殊材料ガス,高圧ガス大臣認定品,真空
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    UJR-X シリーズ 代表品番：UJR-X-6.35
    材質：ステンレス鋼製(SUS316) 最高使用圧力(MPa)：21.5 最高使用温度(℃)：450　最低使用温度(℃)：-196 接続形式： メタルガスケット式 特徴： 特殊材料ガス,高圧ガス大臣認定品,真空
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    UJR-INS-W シリーズ 代表品番：UJR-6.35S-W
    材質：ステンレス鋼製(SUS316L) 最高使用圧力(MPa)：21.5 最高使用温度(℃)：450　最低使用温度(℃)：-196 接続形式： メタルガスケット式 特徴： 特殊材料ガス,高圧ガス大臣認定品,真空
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    UJR-INS-W-L-BR シリーズ 代表品番：UJR-6.35S-W-L-BR
    材質：ステンレス鋼製(SUS316L) 最高使用圧力(MPa)：21.5 最高使用温度(℃)：450　最低使用温度(℃)：-196 接続形式： メタルガスケット式 特徴： 特殊材料ガス,高圧ガス大臣認定品,真空
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    UJR-HU-IN-IAE シリーズ 代表品番：UJR-HU-6.35A-IAE
    材質：ステンレス鋼製(SUS316L+SUS316) 最高使用圧力(MPa)：21.5 最高使用温度(℃)：450　最低使用温度(℃)：-196 接続形式： メタルガスケット式,ねじ込み式 Rねじ 特徴： 特殊材料ガス,真空
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    UJR-HU-IN-IAE シリーズ 代表品番：UJR-HU-6.35AN-IAE
    材質：ステンレス鋼製(SUS316L+SUS316) 最高使用圧力(MPa)：21.5 最高使用温度(℃)：450　最低使用温度(℃)：-196 接続形式： メタルガスケット式,ねじ込み式 NPTおねじ 特徴： 特殊材料ガス,真空
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    UJR-GU-IN-IAE シリーズ 代表品番：UJR-GU-6.35AF-IAE
    材質：ステンレス鋼製(SUS316) 最高使用圧力(MPa)：21.5 最高使用温度(℃)：450　最低使用温度(℃)：-196 接続形式： メタルガスケット式,ねじ込み式 Gめねじ 特徴： 特殊材料ガス,真空
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    UJR-GU-IN-IAE シリーズ 代表品番：UJR-GU-6.35A-IAE
    材質：ステンレス鋼製(SUS316L+SUS316) 最高使用圧力(MPa)：21.5 最高使用温度(℃)：450　最低使用温度(℃)：-196 接続形式： メタルガスケット式,ねじ込み式 Rcねじ 特徴： 特殊材料ガス,真空
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    UJR-GU-IN-IAE シリーズ 代表品番：UJR-GU-6.35AN-IAE
    材質：ステンレス鋼製(SUS316L+SUS316) 最高使用圧力(MPa)：21.5 最高使用温度(℃)：450　最低使用温度(℃)：-196 接続形式： メタルガスケット式,ねじ込み式 NPTめねじ 特徴： 特殊材料ガス,真空
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    UJR-RG-0 シリーズ 代表品番：UJR-6.35RE-RG-0
    材質：ステンレス鋼製(SUS316L ダブルメルト材) 最高使用圧力(MPa)：21.5 最高使用温度(℃)：450　最低使用温度(℃)：-196 接続形式： メタルガスケット式 特徴： 特殊材料ガス,高圧ガス大臣認定品,真空
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    UJR-RG-NI-0 シリーズ 代表品番：UJR-6.35RE-RG-NI-0
    材質：ニッケル 最高使用圧力(MPa)：21.5 最高使用温度(℃)：450　最低使用温度(℃)：-196 接続形式： メタルガスケット式 特徴： 特殊材料ガス,高圧ガス大臣認定品,真空
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    UJR-G-0 シリーズ 代表品番：UJR-6.35G-0
    材質：ステンレス鋼製(SUS316L ダブルメルト材) 最高使用圧力(MPa)：21.5 最高使用温度(℃)：450　最低使用温度(℃)：-196 接続形式： メタルガスケット式 特徴： 特殊材料ガス,高圧ガス大臣認定品,真空
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    UJR-G-NI-0 シリーズ 代表品番：UJR-3.2G-NI-0
    材質：ニッケル 最高使用圧力(MPa)：21.5 最高使用温度(℃)：450　最低使用温度(℃)：-196 接続形式： メタルガスケット式 特徴： 特殊材料ガス,高圧ガス大臣認定品,真空
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    UJR-G-NI-0 シリーズ 代表品番：UJR-6.35G-NI-0
    材質：ニッケル 最高使用圧力(MPa)：21.5 最高使用温度(℃)：450　最低使用温度(℃)：-196 接続形式： メタルガスケット式 特徴： 特殊材料ガス,高圧ガス大臣認定品,真空
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    UJR-B シリーズ 代表品番：UJR-6.35B
    材質：ステンレス鋼製 最高使用圧力(MPa)：21.5 最高使用温度(℃)：450　最低使用温度(℃)：-196 接続形式： メタルガスケット式 特徴： 特殊材料ガス,高圧ガス大臣認定品,真空
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