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エレクトロニクス > バルブ

フジキンが関るエレクトロニクス産業は、半導体業界、FPD（フラットパネルディスプレイ）業界、LED（化合物半導体）業界、太陽電池（ソーラー）業界の四種類となります。これら業界のお客様のご要求に応える為、また、お客様の保安・安全・安心のもと、吾々FCGが取組んだ技術開発テーマは、①接ガス・接液部完全禁油、②特殊精密仕上げ、③超清浄度管理の三種類です。エレクトロニクス産業のデバイス製造装置の約７０％は高真空を利用したプロセスです。その代表的な製造装置は、洗浄装置、プラズマCVD装置、イオン注入装置、アニール装置、スパッタリング装置等であり、フジキンの使命は、小さなバルブ・継手に大きな使命と共に、高純度流体をプロセスのユーズポイントまで、純度を落とすことなく供給する技術を支えております。高真空を保持する事、清浄度を管理する事、長期信頼性を確保する事を目標に生産しております。バルブ・継手は、ステンレスバルブだけでなく、特殊材料にも対応しています。エレクトロニクス産業のフローコントロールシステム（流れ制御機器）をお客様の用途に応じてご提案をさせて頂きます。　FPD製造装置やLED製造装置向けバルブ・継手も同様の性能を維持できるようにしております。

  • 用途イメージ・関連用語:
  • 半導体製造
  • FPD製造
  • 太陽電池製造
  • LED製造
  • 洗浄装置
  • エッチング装置
  • CVD装置
  • スパッタリング装置
  • イオン注入装置
  • 真空蒸着装置
  • アッシング装置
  • アニール装置
  • 真空炉
  • 高耐久性
  • 高真空対応
  • 高洗浄度
  • コンパクト
  • 特殊ガス対応
  • 高純度材料
  • 高気密性
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最高使用圧力(MPa)
最高使用温度(℃)
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材質
接続形式
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クリーン度
特徴
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シリーズ／製品
    FINE PURE ベローズ・メタルダイヤフラムバルブ

    手動グローブタイプベローズバルブ

    FINE PURE ベローズ・メタルダイヤフラムバルブ（インチサイズ） 品番:FUBFN-91-9.52 呼び径（サイズ）： 9.52mm
    材質：ステンレス鋼製(SUS316L) 最高使用圧力(MPa)：1 最高使用温度(℃)：80　最低使用温度(℃)：-10 接続形式： 2圧縮リング方式 特徴： 特殊材料ガス,微量調整可,真空
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  • FINE PURE ベローズ・メタルダイヤフラムバルブ

    FINE PURE ベローズ・メタルダイヤフラムバルブ

    ￥73,882

    数量
    • FINE PURE ベローズ・メタルダイヤフラムバルブ

    手動グローブタイプベローズバルブ

    FINE PURE ベローズ・メタルダイヤフラムバルブ（インチサイズ） 品番:FUBFN-91-12.7 呼び径（サイズ）： 12.7mm
    材質：ステンレス鋼製(SUS316L) 最高使用圧力(MPa)：1 最高使用温度(℃)：80　最低使用温度(℃)：-10 接続形式： 2圧縮リング方式 特徴： 特殊材料ガス,微量調整可,真空
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  • FINE PURE ベローズ・メタルダイヤフラムバルブ

    FINE PURE ベローズ・メタルダイヤフラムバルブ

    ￥87,885

    数量
    • FINE PURE ベローズ・メタルダイヤフラムバルブ

    手動グローブタイプベローズバルブ

    FINE PURE ベローズ・メタルダイヤフラムバルブ（インチサイズ） 品番:FUBFN-71M-6.35#A 呼び径（サイズ）： 6.35mm
    材質：ステンレス鋼製(SUS316L) 最高使用圧力(MPa)：1 最高使用温度(℃)：80　最低使用温度(℃)：-10 接続形式： メタルガスケット式 特徴： 特殊材料ガス,微量調整可,真空
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  • FINE PURE ベローズ・メタルダイヤフラムバルブ

    FINE PURE ベローズ・メタルダイヤフラムバルブ

    ￥87,780

    数量
    • FINE PURE ベローズ・メタルダイヤフラムバルブ

    手動グローブタイプベローズバルブ

    FINE PURE ベローズ・メタルダイヤフラムバルブ（インチサイズ） 品番:FUBFN-91M-6.35#A 呼び径（サイズ）： 6.35mm
    材質：ステンレス鋼製(SUS316L) 最高使用圧力(MPa)：1 最高使用温度(℃)：80　最低使用温度(℃)：-10 接続形式： 2圧縮リング方式 特徴： 特殊材料ガス,微量調整可,真空
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  • FINE PURE ベローズ・メタルダイヤフラムバルブ

    FINE PURE ベローズ・メタルダイヤフラムバルブ

    ￥68,657

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    • NEW MEGA

    自動グローブタイプメタルダイヤフラムバルブ

    NEW MEGA（インチサイズ） 品番:FP-ND-71-6.35 呼び径（サイズ）： 6.35mm
    材質：ステンレス鋼製(SUS316L) 最高使用圧力(MPa)：1 最高使用温度(℃)：80　最低使用温度(℃)：-10 接続形式： メタルガスケット式 特徴： 特殊材料ガス,真空
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  • NEW MEGA

    NEW MEGA

    ￥29,678

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    • NEW MEGA

    自動グローブタイプメタルダイヤフラムバルブ

    NEW MEGA（インチサイズ） 品番:FP-ND-71-6.35-2 呼び径（サイズ）： 6.35mm
    材質：ステンレス鋼製(SUS316L) 最高使用圧力(MPa)：1 最高使用温度(℃)：80　最低使用温度(℃)：-10 接続形式： メタルガスケット式 特徴： 特殊材料ガス,真空
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  • NEW MEGA

    NEW MEGA

    ￥31,141

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    • NEW MEGA

    自動グローブタイプメタルダイヤフラムバルブ

    NEW MEGA（インチサイズ） 品番:FP-ND-71-9.52 呼び径（サイズ）： 9.52mm
    材質：ステンレス鋼製(SUS316L) 最高使用圧力(MPa)：1 最高使用温度(℃)：80　最低使用温度(℃)：-10 接続形式： メタルガスケット式 特徴： 特殊材料ガス,真空
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  • NEW MEGA

    NEW MEGA

    ￥44,935

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    • NEW MEGA

    自動グローブタイプメタルダイヤフラムバルブ

    NEW MEGA（インチサイズ） 品番:FP-ND-71-9.52-2 呼び径（サイズ）： 9.52mm
    材質：ステンレス鋼製(SUS316L) 最高使用圧力(MPa)：1 最高使用温度(℃)：80　最低使用温度(℃)：-10 接続形式： メタルガスケット式 特徴： 特殊材料ガス,真空
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  • NEW MEGA

    NEW MEGA

    ￥54,236

    数量
    • NEW MEGA

    自動グローブタイプ3方メタルダイヤフラムバルブ

    NEW MEGA（インチサイズ） 品番:FP-NDTB-71-6.35 呼び径（サイズ）： 6.35mm
    材質：ステンレス鋼製(SUS316L) 最高使用圧力(MPa)：1 最高使用温度(℃)：80　最低使用温度(℃)：-10 接続形式： メタルガスケット式 特徴： 特殊材料ガス,真空
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  • NEW MEGA

    NEW MEGA

    ￥0

    数量
    • NEW MEGA

    自動グローブタイプ3方メタルダイヤフラムバルブ

    NEW MEGA（インチサイズ） 品番:FP-NDTB-71-9.52 呼び径（サイズ）： 9.52mm
    材質：ステンレス鋼製(SUS316L) 最高使用圧力(MPa)：1 最高使用温度(℃)：80　最低使用温度(℃)：-10 接続形式： メタルガスケット式 特徴： 特殊材料ガス,真空
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  • NEW MEGA

    NEW MEGA

    ￥64,790

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    • NEW MEGA

    自動グローブタイプ3方メタルダイヤフラムバルブ

    NEW MEGA（インチサイズ×インチサイズ） 品番:FP-NDTB-71-9.52X6.35 呼び径（サイズ）： 9.52mm × 6.35mm
    材質：ステンレス鋼製(SUS316L) 最高使用圧力(MPa)：1 最高使用温度(℃)：80　最低使用温度(℃)：-10 接続形式： メタルガスケット式 特徴： 特殊材料ガス,真空
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  • NEW MEGA

    NEW MEGA

    ￥66,880

    数量
    • NEW MEGA

    自動グローブタイプメタルダイヤフラムバルブ

    NEW MEGA（インチサイズ） 品番:FP-ND-91-6.35 呼び径（サイズ）： 6.35mm
    材質：ステンレス鋼製(SUS316L) 最高使用圧力(MPa)：1 最高使用温度(℃)：80　最低使用温度(℃)：-10 接続形式： 2圧縮リング方式 特徴： 特殊材料ガス,真空
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  • NEW MEGA

    NEW MEGA

    ￥25,080

    数量
    • NEW MEGA

    自動グローブタイプメタルダイヤフラムバルブ

    NEW MEGA（インチサイズ） 品番:FP-ND-91-9.52 呼び径（サイズ）： 9.52mm
    材質：ステンレス鋼製(SUS316L) 最高使用圧力(MPa)：1 最高使用温度(℃)：80　最低使用温度(℃)：-10 接続形式： 2圧縮リング方式 特徴： 特殊材料ガス,真空
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  • NEW MEGA

    NEW MEGA

    ￥33,440

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    • NEW MEGA

    自動グローブタイプメタルダイヤフラムバルブ

    NEW MEGA（インチサイズ） 品番:FP-ND-91-12.7 呼び径（サイズ）： 12.7mm
    材質：ステンレス鋼製(SUS316L) 最高使用圧力(MPa)：1 最高使用温度(℃)：80　最低使用温度(℃)：-10 接続形式： 2圧縮リング方式 特徴： 特殊材料ガス,真空
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  • NEW MEGA

    NEW MEGA

    ￥36,157

    数量
    • NEW MEGA

    自動グローブタイプメタルダイヤフラムバルブ

    NEW MEGA（インチサイズ） 品番:FP-ND-71-6.35UG 呼び径（サイズ）： 6.35mm
    材質：ステンレス鋼製(SUS316L) 最高使用圧力(MPa)：1 最高使用温度(℃)：80　最低使用温度(℃)：-10 接続形式： メタルガスケット式 特徴： 特殊材料ガス,真空
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  • NEW MEGA

    NEW MEGA

    ￥0

    • NEW MEGA

    自動グローブタイプメタルダイヤフラムバルブ

    NEW MEGA（インチサイズ） 品番:FP-ND-71-6.35UG-2 呼び径（サイズ）： 6.35mm
    材質：ステンレス鋼製(SUS316L) 最高使用圧力(MPa)：1 最高使用温度(℃)：80　最低使用温度(℃)：-10 接続形式： メタルガスケット式 特徴： 特殊材料ガス,真空
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  • NEW MEGA

    NEW MEGA

    ￥0

    • NEW MEGA

    自動グローブタイプメタルダイヤフラムバルブ

    NEW MEGA（インチサイズ） 品番:FP-ND-71-9.52UG 呼び径（サイズ）： 9.52mm
    材質：ステンレス鋼製(SUS316L) 最高使用圧力(MPa)：1 最高使用温度(℃)：80　最低使用温度(℃)：-10 接続形式： メタルガスケット式 特徴： 特殊材料ガス,真空
    CADデータ：
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  • NEW MEGA

    NEW MEGA

    ￥0

    • NEW MEGA

    自動グローブタイプメタルダイヤフラムバルブ

    NEW MEGA（インチサイズ） 品番:FP-ND-71-9.52UG-2 呼び径（サイズ）： 9.52mm
    材質：ステンレス鋼製(SUS316L) 最高使用圧力(MPa)：1 最高使用温度(℃)：80　最低使用温度(℃)：-10 接続形式： メタルガスケット式 特徴： 特殊材料ガス,真空
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  • NEW MEGA

    NEW MEGA

    ￥0

    • NEW MEGA

    自動グローブタイプメタルダイヤフラムバルブ

    NEW MEGA（インチサイズ） 品番:FP-ND-71-12.7UG 呼び径（サイズ）： 12.7mm
    材質：ステンレス鋼製(SUS316L) 最高使用圧力(MPa)：1 最高使用温度(℃)：80　最低使用温度(℃)：-10 接続形式： メタルガスケット式 特徴： 特殊材料ガス,真空
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  • NEW MEGA

    NEW MEGA

    ￥0

    • NEW MEGA

    自動グローブタイプメタルダイヤフラムバルブ

    NEW MEGA（インチサイズ） 品番:FP-ND-71-12.7UG-2 呼び径（サイズ）： 12.7mm
    材質：ステンレス鋼製(SUS316L) 最高使用圧力(MPa)：1 最高使用温度(℃)：80　最低使用温度(℃)：-10 接続形式： メタルガスケット式 特徴： 特殊材料ガス,真空
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