VACUUM 2022 真空展

FCS_®

2007年 第4回モノづくり部品大賞 奨励賞 受賞！

• FCS®は次世代半導体プロセスにおける、高次元でのプロセス安定性を追及すべく開発されました。

FCS_®サーマルシリーズ

• ガス供給系の重要なコンポーネントであるMFCをサーマルシリーズとして新たに製品化しました。

超小型FCS_®

• 小型かつ軽量。
• 流量精度が既存モデルより向上。
• 供給圧力の変動に対して、制御流量は影響を受けない。
• 応答時間が0.5秒以下。
• 取り付け姿勢の影響を受けない。
• 流量自己診断機能を搭載。
• ガス種を選ばない。
• RoHS対応。

ニューV_®-Series

• ボールバルブ
• トラニオン型ボールバルブ
• プラグバルブ
• トグルバルブ
• ユニオンボンネット型ニードルバルブ
• リリーフバルブ
• チャッキバルブ
• 3ピースボールバルブ
• べローズバルブ

機械式ベントヘッダー圧力コントロールシステム

• 機械式で真空圧力、駆動圧力を制御。
• 圧力変動に対して瞬時にコントロール。