新次元へ向かう超小型FCS-P

ガス流体を
高精度コントロール

さらに
P7000-RS P7000-WR

装置ユニットの自由度が高まる。

フローコントロールシステム
超小型 FCSP7000Wシリーズ

特長

  1. 小型かつ軽量。
  2. 流量精度が既存モデルより向上。
  3. 供給圧力の変動に対して、制御流量は影響を受けない。
  4. 応答時間が0.5秒以下。
  5. 取り付け姿勢の影響を受けない。
  6. 流量自己診断機能を搭載。
  7. ガス種を選ばない。
    [フローファクター(流量変換係数)の採用により、N2校正のFCS®で様々なガス種に対応します。]
  8. RoHS対応
    (RoHS規制に対応しており、地球環境に配慮した製品の開発・製造に努めています。)

仕様

  1. 供給圧力範囲
    標準タイプ 250~898.7 kPaG
    低圧タイプ   50~898.7 kPaG
  2. 流量レンジ (N2)
    標準タイプ 10 SCCM~1300 SCCM
    低圧タイプ   39 SCCM~395 SCCM
  3. 供給電源電圧
    DeviceNet通信 +11~+25 VDC/4.5 VA (4.5 W)
  4. 入出力信号
    DeviceNet通信、EtherCAT®
  5. ワイドレンジモデル
接続部材質 ステンレス鋼(SUS316L)
ニッケルコバルト合金、ハステロイ®C22
クリーン度 完全禁油
最高使用圧力(MPa) 0.89 最高使用温度(℃) 50
最低使用温度(℃) 15 特長 特殊材料ガス、微量調整可
寸法 W:102 D:10 H:102㎜
(シールピッチ77㎜)
質量 約300g

製品に関するお問い合わせ