社会

知財戦略情報誌「NewテクノマートSO(創)」

金属ナノロッドアレイを用いた光ナノイメージング

像を等倍に伝送するだけでなく、像を拡大小して伝送することが可能。
近接場画像の処理技術の向上をはかることができる。

文献番号	特許第4847123号
資料請求番号	14110005
用途	集積回路製造におけるリソグラフィ、新世代ナノリソグラフィや新しいバイオイメージングなどナノ領域での画像伝送用のデバイス
技術内容	近年、表面プラズモンを利用したナノイメージングやナノリソグラフィは、新しい研究分野として注目されている。金属ナノ構造体に近接場光を入射すると、構造体の表面に局在表面プラズモンが誘起されることから、理研の研究者は、直径がナノメートルオーダーの円柱状の金属ナノ構造体よりなる微小ロッドの電子振動（プラズモン）を利用して、微小ロッドより波長を遙かに下回る分解能の画像情報を伝送することを可能にした。この技術により、光の回折による波長の限界を越えて、光を使いながらもナノサイズのイメージングを行うことが可能となった。
権利者	独立行政法人理化学研究所

(敬称略)

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