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集積化ガスシステム(IGS®) 特長・施工説明 (更新日:2023.08.18) |
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配管レス、溶接レスのガスシステム。 ベースブロックやWシール方式を採用した、最先端の『集積化ガスシステム』を動画で解説しています。 |
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集積化ガスシステム(IGS®) 特長・施工説明(短縮版) (追加日:2023.08.18) |
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FCS®-P(Flow Control System Pressure Series) PV | ||
ガス種を問わず、供給圧力の変動に対して、制御流量は影響を受けません。 応答時間は、0.5秒以下と早く、取り付け姿勢の影響を受けません。流量自己診断機能を搭載しています。 |
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FCS®-T(Flow Control System Thermal Series) PV | ||
マルチガス、マルチレンジ対応で、急激な供給圧力変動の影響を極限まで除去し、安定した流量制御する機能をご紹介。 ガスラインのコストダウンとダウンサイジングの課題を解決します。 |
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FRC(Flow Ratio Controller) PV | ||
導入ガスを設定比率に基づいて正確に分配します。 ガス種を問わないので、混合ガスも正確に分配可能。ガス濃度均一化が難しい、大型チャンバーにも均一にガスを供給可能。 |
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BNW手動交換(BNWM) | BNWシリーズ 手動弁のダイアフラム交換について説明します。 | |
BNW自動交換(BNWC) | BNWシリーズ 自動弁のダイアフラム交換について説明します。 |
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ステンレス鋼製 1MPa ニューV-Lok式 空気圧操作 単動型 3方自動ボール弁 |
3方ボール弁を同時に2個に駆動できる新しい3方自動ボール弁を開発。 複雑な流路切替システムが、簡単に構築できる例もご紹介します。 |