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知財戦略情報誌「NewテクノマートSO(創)」
単結晶窒化ガリウム基板の製造方法
低コストな青色系発光素子基板製造方法
窒化ガリウムとの結晶の整合性が高く、電気伝導度が高く、大型化でき、かつ低コストの青色系発光素子用の基板の製造が可能。
| 文献番号 | 特許第4756418 |
|---|---|
| 資料請求番号 | 12050004 |
| 用途 | 青色系発光素子を実現し得る、多結晶炭化珪素層に支持された単結晶窒化ガリウム基板の製造。 |
| 技術内容 | SOI基板を炭化水素系ガス雰囲気中で加熱処理して、単結晶シリコン層を面方位を有する単結晶炭化珪素層に変成させ、次いでエピタキシャル成長法により、単結晶炭化珪素層を増厚する。 次に、単結晶炭化珪素層上に、単結晶窒化ガリウム基板を構成するに足る膜厚の単結晶窒化ガリウム層を形成する。 次に、高周波プラズマ法により、単結晶窒化ガリウム層上に、単結晶窒化ガリウム基板を支持するに足る膜厚の多結晶炭化珪素層を形成する。 次に、得られた積層体からシリコン基板、埋め込み酸化膜層および単結晶炭化珪素層を順次異なる条件下で除去する。 |
| 権利者 | 株式会社ヒューズ・テクノネット |
(敬称略)
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