次世代製品を開発する、 最先端のR&Dセンター。
液体材料気化供給システム FALVS® 内閣総理大臣表彰 第7回ものづくり日本大賞 経済産業大臣賞が開発者7名に贈られる。
圧力制御式超高精度ガス流量コントローラ 第18回超モノづくり部品大賞「機械・ロボット部品賞」受賞