モノづくり部品大賞受賞製品

半導体ガス濃度計

2024年21回 モノづくり部品大賞「電気・電子部品賞」受賞製品

第21回超モノづくり部品大賞（主催：モノづくり日本会議様／日刊工業新聞社様）において、フジキンの半導体ガス濃度計が電気・電子部品賞を受賞しました。プロセスガスの濃度変化を高速で計測したいというお客様のニーズに応える製品です。

大流量水素ステーション向け超高圧バルブ機器

2023年20回 モノづくり部品大賞「モビリティー関連部品賞」受賞製品

第20回超モノづくり部品大賞（主催：モノづくり日本会議様／日刊工業新聞社様）において、フジキンの大流量水素ステーション向け超高圧バルブ機器が「モビリティー関連部品賞」を受賞しました。2014年に日本で初めて商用水素ステーションが開所し、数年後には「燃料電池大型トラック等の大型モビリティ（Heavy Duty Vehicle、以下HDV）」についての開発や実証に向けた取り組みも開始されました。このHDV開発に対応するために、次世代水素ステーションの整備も進んでいます。次世代水素ステーションの課題解決について、以下本文でご説明いたします。

半導体製造装置用 超小型IoTバルブ

2022年19回 モノづくり部品大賞「機械・ロボット部品賞」受賞製品

第19回超モノづくり部品大賞（主催：モノづくり日本会議様／日刊工業新聞社様）において、フジキンの半導体製造装置用 超小型IoTバルブが「機械・ロボット部品賞」を受賞しました。半導体製造装置には数多くのバルブが用いられており、ひとつでもバルブに不具合が生じると、大量の不良品が発生することになります。このようなことを未然に防ぐため、劣化による部品の交換時期を知ることができるセンサ付きのバルブを開発し、なおかつ装置のコストダウンに繋がる小型化を実現しました。

圧力制御式超高精度ガス流量コントローラ（FCS-P8500）

2021年18回 モノづくり部品大賞「機械・ロボット部品賞」受賞製品

第18回 モノづくり部品大賞（主催：モノづくり日本会議様／日刊工業新聞社様）に おいて、フジキンの圧力制御式超高精度ガス流量コントローラ（FCS-P8500）が「機械・ロボット部品賞」を受賞しました。デジタル社会を支えるうえで、もはや半導体は必要不可欠です。半導体の量産工場では、同一工程に複数台の製造装置を導入した短TAT（Turn Around Time）生産が主流となっていますが、装置ごとのばらつき（機差）を極小化することが要求されます。例えばドライプロセスの場合、半導体製造装置のチャンバ内でプロセスガスのガス種と流量を高精度かつ短時間に次々と切り替えて実行されています。そのため、プロセスガスを小流量から大流量まで高精度に流せるガス流量制御器が必要となります。そのガス流量制御器について、以下本文でご説明いたします。

高精度流量バルブ

2020年17回 モノづくり部品大賞「機械・ロボット部品賞」受賞製品

第17回 モノづくり部品大賞（主催：モノづくり日本会議様／日刊工業新聞社様）に おいて、フジキンの高精度流量バルブが「機械・ロボット部品賞」を受賞しました。本製 品は半導体製造の前工程における成膜装置やエッチング装置に、有機金属などのプロ セスガスを供給するシステムで用いられます。半導体の高集積化が進むにつれて、今 まで以上に流量精度や小型化が要求され、新たな課題となります。なぜ加工公差の累 積による個別バルブ毎のＣv値のバラツキを大幅に軽減できたのか。どのようにして、 ガスモジュールのさらなる小型化を実現したのか。詳細を本文でご説明いたします。

超高圧液体水素適合バルブ

2019年16回 モノづくり部品大賞「大賞」受賞製品

第16回 モノづくり部品大賞（モノづくり日本会議様／日刊工業新聞社様主催）において、フジキンの超高圧液体水素適合バルブが大賞を受賞しました。これによりフジキンは16回連続受賞となりました。本製品は次世代の液体水素ステーション用のバルブになります。 宇宙ロケット用バルブ、大型ロケットへの燃料充填システム、 水素ステーション向け超高圧水素ガス用バルブの技術蓄積をもとに、 新技術を加えて開発しました。

次世代半導体プロセス用ダイヤフラムバルブ

2018年15回 モノづくり部品大賞「電気・電子部品賞」受賞製品

第15回 モノづくり部品大賞（主催:モノづくり日本会議様／日刊工業新聞社様）において、フジキンの次世代半導体プロセス用ダイヤフラムバルブが電気・電子部品賞を受賞しました。本製品は半導体製造の前工程における成膜装置やエッチング装置に、有機金属などのプロセスガスを供給するガス供給システムで用いられます。半導体の高集積化が進むにつれ、バルブも今まで以上の耐久性、流量精度が求められます。ダイヤフラムの材質、ダイヤフラムを保持・押下する周辺部品の形状材料と設計、製法を新たにすることで、次世代半導体プロセス用ダイヤフラムバルブの開発に成功しました。

超高圧水素配管用メタルガスケット継手

2017年14回 モノづくり部品大賞「機械部品賞」受賞製品

第14回 モノづくり部品大賞（モノづくり日本会議様／日刊工業新聞社様主催）において、フジキンの超高圧水素配管用メタルガスケット継手が機械部品賞を受賞しました。これによりフジキンは14回連続受賞となりました。本製品は水素ステーションを構成する超高圧水素配管用の継手で、外部漏洩を長期にわたって防止し、安全な運営に寄与します。また、施工性、メンテナンス性にも優れ、配管施工時間を従来の2分の1まで短縮することができます。

電気二重層キャパシタ内蔵 電動ダイレクトダイヤフラムバルブ（新型ECV_®[EECV/ダブルイーシーブイ]）

2014年11回 モノづくり部品大賞「奨励賞」受賞製品

第13回 モノづくり部品大賞（モノづくり日本会議様／日刊工業新聞社様主催）において、平成26年11月27日、フジキンの｢電気二重層キャパシタ内蔵 電動高速開閉弁｣が奨励賞を受賞致しました。ここに謹んでご報告申し上げますとともに、本製品に関し、推薦文を賜りました東北大学名誉教授　大見忠弘先生には心から厚く御礼申し上げます。これまでご支援頂きました皆々様に心から感謝申し上げます。

スティックIGS_®

2012年9回 モノづくり部品大賞「機械部品賞」受賞製品

第9回 モノづくり部品大賞（モノづくり日本会議様／日刊工業新聞社様主催）において、2012年11月28日、フジキンの「スティックIGS_®」が機械部品賞を受賞致しました。9年連続受賞を達成し、受賞回数の記録を更新しました。皆々様の温かいご支援に心から感謝申し上げます。

高機能サニタリー用ソフトダイヤフラムバルブ

2011年8回 モノづくり部品大賞「奨励賞」受賞製品

第8回 モノづくり部品大賞（モノづくり日本会議様／日刊工業新聞社様主催）において、フジキンの「高機能サニタリー用ソフトダイヤフラムバルブ」が、平成23年12月6日、奨励賞の栄誉に輝きました。ご推薦を賜りました大阪大学名誉教授　世古口言彦先生をはじめ皆様の温かいご支援によるものと、厚く厚く感謝申し上げますとともに、ここに謹んでご報告申し上げます。

高温250℃対応圧力制御式ガス流量制御器

2010年7回 モノづくり部品大賞「機械部品賞」受賞製品

第7回 モノづくり部品大賞（モノづくり日本会議様／日刊工業新聞社様主催）において、フジキンの「高温250℃対応圧力制御式ガス流量制御器」が機械部品賞を受賞。平成22年11月26日表彰を受け、7年連続受賞の栄誉に輝きました。

気体作動高耐久ダイレクトダイヤフラムバルブ

2009年6回 モノづくり部品大賞「機械部品賞」受賞製品

第6回 モノづくり部品大賞（モノづくり日本会議様／日刊工業新聞社様主催）において、フジキンの「気体作動高耐久ダイレクトダイヤフラムバルブ」が昨年に続いて、本年は機械部品賞を受賞。平成21年10月30日表彰を受け、6年連続受賞の栄誉に輝きました。

電動小型ダイレクトダイヤフラムバルブ：ECV_®

2005年2回 モノづくり部品大賞「奨励賞」受賞製品

第2回 モノづくり部品大賞（日刊工業新聞社様主催）において、フジキンの『電動小型ダイレクトダイヤフラム：ECV_®』が、奨励賞を受賞。平成17年3月29日、表彰を賜りました。

UPG_®（超小型メタルガスケット継手）

2004年1回 モノづくり部品大賞「部品賞」受賞製品

第1回 モノづくり部品大賞（日刊工業新聞社様主催）は、61社から機械、電気・電子自動車などの部品80点の応募があり、フジキンの「UPG_®（超小型メタルガスケット継手」が部品賞を受賞し、平成16年3月30日、表彰を賜りました。ご報告とともに、皆々様の温かいご支援に厚く厚く感謝申し上げます。〈部品の概要〉