内閣総理大臣表彰「ものづくり日本大賞」とは、我が国の産業・文化の発展を支え、豊かな国民生活の形成に大きく貢献してきた「ものづくり」を着実に継承し、さらに発展させていくため、製造・生産現場の中核を担っている中堅人材や伝統的・文化的な「技」を支えてきた熟練人材・今後を担う若年人材など、「ものづくり」に携わっている各世代の人材のうち、特に優秀と認められる人材に対して授与されるものです。
フジキンの液体材料気化供給システム「ファリバス®」の開発者7名(2017年度第7回ものづくり日本大賞 経済産業大臣賞(受賞) [製品・技術開発部門]は、半導体の成膜工程において、原料である液体有機金属をヘリウム(以下 Heと記載します)などのキャリアガスを使わずに直接気化(ガス化)、圧力変動を精密にコントロールし、一定量をシリコンウエハー上に供給して薄膜を形成する世界初のシステムを開発。キャリアガスにより希釈する従来方式と比べ、生産性が大幅に向上(100%濃度での大流量供給、運用コスト低減、プロセス時間短縮、システム小型化)、ウエハーの大口径化や回路の高集積化等、次世代半導体の製造に貢献。
フジキンは、平成17年度より新たに政府が創設した内閣総理大臣表彰「第1回ものづくり日本大賞」の製品・技術開発部門において、平成17年8月3日、経済産業大臣様よりIGS®開発者9名が「優秀賞」の表彰を受けました。これは高度な技術的課題を克服し、従来にない画期的な製品・部品や生産技術の開発・実用化を実現させた個人またはグループが対象となるもので、フジキンの優れた技術開発陣が認められました。ご報告とともに皆々様の温かいご支援に厚く厚く感謝申し上げます。