フジキン　FCS®-P｜製薬・食品分野向けバルブ｜イチオシ製品｜バルブ・継手・システム等の製品技術サポート情報

FCS®-P(Flow Control System Pressure Series)

フジキン　FCS®-P

FCSは、近年半導体プロセスにおいて、重要視されているエッチレートや成膜レートの、安定性・再現性の確立を念頭に開発されました。
ガス供給系での、圧力変動（ハンチング）やクロストークなど、プロセスの不安定要素を克服し、限りなく安定した流量制御をご提供致します。