マスフローコントローラ
シリーズ概要
特長
・対応ガス:AsH3,BF3,PH3,SiF4,PF3
・マルチレンジモデルも対応:ロータリースイッチによるガス種切替仕様
シリーズスペック詳細
クリーン度 | 完全禁油 | 最高使用圧力(MPa) | 0.133 |
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最高使用温度(℃) | 50 | 最低使用温度(℃) | 5 |
特長 | 微量調整可 |
業界別カテゴリ
- エレクトロニクス
- メカトロニクス
- ケミカル
- パブリックラボラトリ
- エネルギー
- バイオメディカル・フード
- ライフサイエンス
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