マスフローコントローラ
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シリーズ概要
特長
・ピエゾアクチュエータ搭載
・低温度熱式流量センサ(反応性の高いガスや安定性の低いガスに有利)
・微小流量対応
シリーズスペック詳細
| クリーン度 | 完全禁油 | 最高使用圧力(MPa) | 0.3 |
|---|---|---|---|
| 最高使用温度(℃) | 50 | 最低使用温度(℃) | 5 |
| 特長 | 微量調整可 |
業界別カテゴリ
- エレクトロニクス
- メカトロニクス
- ケミカル
- パブリックラボラトリ
- エネルギー
- バイオメディカル・フード
- ライフサイエンス
業界分類
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