フローコントロールシステム
超小型 FCSP7000Wシリーズ

特長

1. 小型かつ軽量。
2. 流量精度が既存モデルより向上。
3. 供給圧力の変動に対して、制御流量は影響を受けない。
4. 応答時間が0.5秒以下。
5. 取り付け姿勢の影響を受けない。
6. 流量自己診断機能を搭載。
7. ガス種を選ばない。
   [フローファクター(流量変換係数)の採用により、N₂校正のFCS_®で様々なガス種に対応します。]
8. RoHS対応
   (RoHS規制に対応しており、地球環境に配慮した製品の開発・製造に努めています。)

仕様

1. 供給圧力範囲
   標準タイプ 250～898.7 kPaG
   低圧タイプ   50～898.7 kPaG
2. 流量レンジ (N₂)
   標準タイプ 10 SCCM～1300 SCCM
   低圧タイプ   39 SCCM～395 SCCM
3. 供給電源電圧
   DeviceNet^™通信 +11～+25 VDC/4.5 VA (4.5 W)
4. 入出力信号
   DeviceNet^™通信、EtherCAT_®
5. ワイドレンジモデル