VACUUM 2023 真空展

FCS_®

2007年 第4回モノづくり部品大賞 奨励賞 受賞！

• FCS®は次世代半導体プロセスにおける、高次元でのプロセス安定性を追及すべく開発されました。

FCS_®サーマルシリーズ

• ガス供給系の重要なコンポーネントであるMFCをサーマルシリーズとして新たに製品化しました。

集積化ガスシステム（IGS）

• 基本技術の高性能化
• 小型化　従来比で 約1/3のレイアウト
• 信頼性の向上
• 施工性、メンテナンス性の向上
• 標準化の推進
• コストダウン

ニューV_®-Lok

• 各種船級認証取得済
• グローバル
• フレアー等特殊工具や溶接不要

PURE_®シリーズ

• PURE製品は、数々のハイテク対応技術が随所に配されたウルトラスーパークリーンルームで研究開発されています。
  その清浄度は世界最高水準のレベルを誇るクラス１です。
  ここで生み出されるものだから、極限の要求に応える世界No.1の品質が約束できるのです。