基板搬送ボックス及び基板搬送装置
汚染と酸化はもう無縁！ 画期的半導体収納容器と搬送システム
半導体基板の収納にはSEMI規格のFOUP（Front Opening Unified Pod）と呼ばれる容器が用いられている。また、この容器に窒素ガスを供給することも考えられている。
しかし、この容器では基板の移載が非常に面倒であったが、本方法では、ベルヌーイチャックと中継搬送機構を用いることで従来の問題点を解決できた。汚染も酸化もないクリーンな搬送が実現できる。
【希望】
実用化・商品化共同開発
ライセンス
| 文献番号 | 特許第5486712号 |
|---|---|
| 資料請求番号 | 14060009 |
| 用途 | 汚染と酸化を極小にしたい半導体・電子部品等の基板収納・搬送容器。 |
| 技術内容 | 半導体製造用の基板収納・搬送容器で、 ①基板自身の保持に多段のベルヌーイチャックが用いられ ②ベルヌーイ供給ガスに不活性ガスを用い ③容器内はこの不活性ガスで常に陽圧に保たれていることを特徴としている。 これにより、半導体基板がプラスティック材料で出来ている容器の壁や裏面の基板保持部に一切接触しないので、表面・裏面とも汚染防止が可能になる。また、容器内は不活性ガスが供給され続けるため、常に陽圧を保ち、酸素も水分もほとんど無く、基板の酸化も防止できる。 |
| 権利者 | 有限会社アクセス |
(敬称略)