知財・人財宝®・技財・資財 戦略情報誌 Newテクノマート「SO(創)」
薬液用圧力センサー
高信頼・長寿命・耐化学薬品特性圧力計
一般的にはダイヤフラムにフッ素樹脂のコーティングが行われているが、コーティング膜厚のばらつきによる計測誤差発生やピンホール・部分的剥がれによる短寿命化の問題があった。この技術により、高信頼・長寿命・耐化学薬品性と高純度薬液をまったく汚染することなく腐食性薬液の圧力計測が可能となった。
| 文献番号 | （非開示） |
|---|---|
| 資料請求番号 | 11110010 |
| 技術内容 | 腐食性の強い強酸・強アルカリ等の薬液用圧力センサーで、薬液と接触する部分は全てフッ素樹脂で覆われ、圧力を検知するセラミックスまたは金属製のダイヤフラムと、特殊な接着処理で接着されていることを特徴とする高信頼・長寿命・耐化学薬品性の圧力計。 技術のキーポイントは、①接液材質にエラストマーＯリングシールを用いずに、内部構成材料を耐腐食性材料（フッ素樹脂）のみで構成できること②どちらかというと脆弱と思われてきたフッ素樹脂製ダイヤフラムが使用可能になったこと③従来極めて困難であったフッ素系樹脂と金属やセラミックス材料の接着を表面状態と数種類の接着剤の組合せによって可能にしたことが重要と言えます。 |
(敬称略)