サンプリングガス
コントロールシステム
Sampling Gas Control System
複数のガスラインを自動制御でサンプリング
- 特徴
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- 製造ラインより製造ガスをサンプリングし、本システムへ導入
- 各アナライザー（ガスクロマトグラフィー、FTIR等）にあった流量、圧力にサンプリングガスを調整
- 各アナライザーへの導入及び、回収、排気
- 以上の工程をタッチパネルにより操作、また自動制御が可能
ガスフロー（概略）
制御
- タッチパネルによるバルブ開閉、流量コントロール、圧力コントロール、また各種表示
- 各アナライザーへの分析開始信号を発信
- 各アナライザーからのアナログ出力の取り込み、表示
- シーケンサーによる自動制御（サンプルガス導入工程、分析機器校正工程、サイクルパージ工程等）
- 各種インターロックの設定
- 各種ヒータによる温度制御（サンプルガスに応じて）
- サンプルガスによるパージ機能
タッチパネル
タッチパネルによるバルブ、流量機器、圧力制御機器をコントロール
自動モード選択画面
各種サンプリングガスの分析工程を自動化（シーケンス制御）
機器構成
| バルブ | ダイヤフラムバルブ（NewMegaシリーズ） |
|---|---|
| 流量コントローラ | FCS-Tシリーズ |
| 圧力コントローラ | PCS-T（自動圧力制御コントローラ） |
※集積化ガスシステムでの対応可能
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