スロー排気システム
Slow Pumping & Vending System
パーティクルの移動による
電解放出を防ぐ
真空引きやN2パージの時にパーティクルの移動を極力おさえるシステムを開発しました。超伝導空洞性能劣化の主な原因の一つであるパーティクルの移動による電解放出を防ぎます。
- 高エネルギー加速器研究機構様 監修 共同特許出願中
- 共同開発 株式会社アールデック
- MANUAL CONTROL 画面
- MENU 画面
- AUTO CONTROL 画面
スロー排気
MFC2 の流量を10 パターン制御可能!
SLOW VACUUM MFC2 SETTINGS 画面
メイン排気
メンテナンス画面で詳細設定可能!
MAINTENANCE 画面
N2パージ
MFC1 の流量を10 パターン制御可能!
N2 PURGE MFC1 SETTINGS 画面
お問い合わせは