スロー排気システム
Slow Pumping & Vending System
パーティクルの移動による
電解放出を防ぐ
真空引きやN2パージの時にパーティクルの移動を極力おさえるシステムを開発しました。超伝導空洞性能劣化の主な原因の一つであるパーティクルの移動による電解放出を防ぎます。
- 高エネルギー加速器研究機構様 監修 共同特許出願中
- 共同開発 株式会社アールデック
MANUAL CONTROL 画面
MENU 画面
AUTO CONTROL 画面
スロー排気
MFC2 の流量を10 パターン制御可能！
SLOW VACUUM MFC2 SETTINGS 画面
メイン排気
メンテナンス画面で詳細設定可能！
MAINTENANCE 画面
N2パージ
MFC1 の流量を10 パターン制御可能！
N2 PURGE MFC1 SETTINGS 画面
お問い合わせは