エレクトロニクス ・

フローコントロールシステム(FCS®) 製品シリーズ一覧

オートプレッシャーコントローラ(自動圧力制御器)

UPCシリーズ 代表品番:
シリーズ概要：
動作原理内蔵した圧力センサーで圧力を一定に保ちます。

アプリケーション
電気信号で任意の圧力が設定可能です。
1つのラインにマスフロが複数接続されている場合、ガス流量の急激な変動が他のマスフロに影響を与えないように圧力調整を行う。
ウエハ裏面冷却用の制御器として対応可能。
下流圧力制御用。

仕様
圧力レンジ F.S 13.3kPa(100Torr)、F.S. 150/300/500kPa abs.
供給圧力 0～200kPaG、～897.3kPaG
供給電源電圧 アナログ:±15VDC(120mA)
DeviceNet:+11～+25VDC、4.0W
出力信号 0～10VDC、0～5VDC

フローコントロールシステム

FCSP8000シリーズ 代表品番:
シリーズ概要：
特長
1.供給圧力の変動に対して、制御流量は影響を受けません。
2.応答時間が0.5秒以下と早い。
3.取り付け姿勢の影響を受けません。
4.流量自己診断機能の搭載。
5.ガス種を選びません。[フローファクター(流量変換係数)の採用により、N2校正のFCS®で様々なガス種に対応します。]
6.RoHS対応(RoHS規制に対応しており、地球環境に配慮した製品の開発・製造に努めています。)

仕様
1.供給圧力範囲
標準タイプ 250～898.7kPaG
低圧タイプ(AS) 20～898.7kPaG
低圧タイプ(B) 50～898.7kPaG
2.流量レンジ 10SCCM～2.4SLM
3.供給電源電圧 +11～+25VDC/4.5VA(4.5W)
4.入出力信号 DeviceNet通信

フローコントロールシステム

FCSP7000シリーズ 代表品番:
シリーズ概要：
特長
1.供給圧力の変動に対して、制御流量は影響を受けません。
2.応答時間が0.5秒以下と早い。
3.取り付け姿勢の影響を受けません。
4.流量自己診断機能の搭載。
5.ガス種を選びません。[フローファクター(流量変換係数)の採用により、N2校正のFCS®で様々なガス種に対応します。]
6.RoHS対応(RoHS規制に対応しており、地球環境に配慮した製品の開発・製造に努めています。)

仕様
1.供給圧力範囲
標準タイプ 250～898.7kPaG
低圧タイプ(AS) 20～898.7kPaG
低圧タイプ(B) 50～898.7kPaG
2.流量レンジ 標準タイプ 10SCCM～10SLM
低圧(AS)タイプ 27SCCM～1SLM
低圧(B)タイプ 39SCCM～2SLM
3.供給電源電圧
DeviceNet通信 +11～+25VDC/4.5VA(4.5W)
アナログ入出力仕様 ±15VDC(120mA)
4.入出力信号 DeviceNet通信,アナログ入出力

フローコントロールシステム

FCSP7000Wシリーズ 代表品番:
シリーズ概要：
特長
1.供給圧力の変動に対して、制御流量は影響を受けません。
2.応答時間が0.5秒以下と早い。
3.取り付け姿勢の影響を受けません。
4.流量自己診断機能の搭載。
5.ガス種を選びません。[フローファクター(流量変換係数)の採用により、N2校正のFCS®で様々なガス種に対応します。]
6.RoHS対応(RoHS規制に対応しており、地球環境に配慮した製品の開発・製造に努めています。)

仕様
1.供給圧力範囲
標準タイプ 250～898.7kPaG
低圧タイプ(AS) 20～898.7kPaG
低圧タイプ(B) 50～898.7kPaG
2.流量レンジ
標準タイプ 20SCCM～10SLM
低圧(AS)タイプ 27SCCM～1SLM
低圧(B)タイプ 39SCCM～2SLM
3.供給電源電圧
DeviceNet通信 +11～+25VDC/4.5VA(4.5W)
アナログ入出力仕様 ±15VDC(120mA)
4.入出力信号 DeviceNet通信,アナログ入出力
5.ワイドレンジモデル

オートプレッシャーコントローラ(自動圧力制御器)

UPCUSシリーズ 代表品番:
シリーズ概要：
動作原理
内蔵した圧力センサーで圧力を一定に保ちます。

アプリケーション
電気信号で任意の圧力が設定可能です。
1つのラインにマスフローが複数接続されている場合、ガス流量の急激な変動が他のマスフローに影響を与えないように圧力調整を行う。
ウエハ裏面冷却用の制御器として対応可能。
上流圧力制御。

仕様
圧力レンジ F.S. 150/300/500kPa abs.
供給電源電圧 アナログ:±15VDC(120mA)
DeviceNet:+11～+25VDC、4.0W
出力信号 0～5VDC