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マスフローコントローラ
エレクトロニクス ・
マスフローコントローラ 製品シリーズ一覧
検索結果
14
件 圧力順
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(1~14件を表示)
表示件数
15
30
50
最高使用圧力(MPa)
すべて
0 ~ 1MPa
最低使用温度(℃)
すべて
0 ~ -20℃
最高使用温度(℃)
すべて
0 ~ 80℃
接続形式
すべて
該当なし
材質
すべて
該当なし
クリーン度
すべて
1級禁油
完全禁油
特長
すべて
微量調整可
該当なし
リセット
この仕様から探す
マスフローコントローラ
FCSDS-T2000シリーズ
代表品番:
シリーズ概要:
特長
・対応ガス:AsH3,BF3,PH3,SiF4,PF3
・マルチレンジモデルも対応:ロータリースイッチによるガス種切替仕様
シリーズ詳細
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マスフローコントローラ
FCS-G200シリーズ
代表品番:
シリーズ概要:
特長
・アナログ信号による流量計測と制御機能に特化
・制御電源一体化ユニットも対応
シリーズ詳細
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マスフローコントローラ
FCS-T2000シリーズ
代表品番:
シリーズ概要:
特長
・ピエゾアクチュエータ搭載
・低温度熱式流量センサ(反応性の高いガスや安定性の低いガスに有利)
・微小流量対応
シリーズ詳細
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マスフローコントローラ
FSC-G300シリーズ
代表品番:
シリーズ概要:
特長
・流量精度 ±1%F.S.
・ピエゾアクチュエータ搭載
シリーズ詳細
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マスフローコントローラ
FCS-T1000MPシリーズ
代表品番:
シリーズ概要:
特長
・PI機能搭載
圧力センサー内蔵、急激な圧力変動による影響を極限まで軽減
・MGMR(マルチガス、マルチレンジ)機能
・耐食ハステロイセンサ搭載
・高流量精度:±1%S.P.
シリーズ詳細
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マスフローコントローラ
FCS-T1000Zシリーズ
代表品番:
シリーズ概要:
特長
・MGMR(マルチガス、マルチレンジ)機能
・耐食ハステロイセンサ搭載
・高流量精度:±1%S.P.
シリーズ詳細
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マスフローコントローラ
FCS-T1000Fシリーズ
代表品番:
シリーズ概要:
特長
・高速応答 1sec以内(全流量域)
・流量制御、モニタリングソフト
・多種通信方式に対応
・特殊仕様対応(高圧仕様、低差圧仕様、高差圧仕様等)
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マスフローコントローラ
FCS-T1000M(Z)F-HTシリーズ
代表品番:
シリーズ概要:
特長
・高温対応 50~80℃
シリーズ詳細
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マスフローコントローラ
FCS-T1000Lシリーズ
代表品番:
シリーズ概要:
特長
・流量精度 ±1%F.S.
・入出力 アナログ(0-5VDC)
・応答速度 1sec以内
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自動圧力制御コントローラ
PCS-T1000Fシリーズ
代表品番:
シリーズ概要:
特長
・外部圧力センサからの信号による上流側又は下流側の圧力制御
・流量出力 0~5VDC
シリーズ詳細
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表示器一体型マスフローメータ
FCS-TM39シリーズ
代表品番:
シリーズ概要:
特長
・表示器一体型モデル
・外部流量出力
・ニードルバルブ一体モデルも対応
・流量積算、上下限警報出力
シリーズ詳細
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マスフローコントローラ
FCS-T1200Fシリーズ
代表品番:
シリーズ概要:
特長
・大流量モデル
・流量精度 ±1%F.S.
・応答速度 3sec以内
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マスフローコントローラ
FCS-T1500Fシリーズ
代表品番:
シリーズ概要:
特長
・大流量モデル
・流量精度 ±2%F.S.
・応答速度 3sec以内
シリーズ詳細
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マスフローコントローラ
FCS-T1200MF-HTシリーズ
代表品番:
シリーズ概要:
特長
・高温対応 50~80℃
シリーズ詳細
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