製品情報

マスフローコントローラ

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システム 機器名称

FCSDS-T2000シリーズ

代表品番:|カタログNo.751-01

シリーズ概要

特長
・対応ガス:AsH3,BF3,PH3,SiF4,PF3
・マルチレンジモデルも対応:ロータリースイッチによるガス種切替仕様

シリーズスペック詳細

クリーン度 完全禁油 最高使用圧力(MPa) 0.133
最高使用温度(℃) 50 最低使用温度(℃) 5
特長 微量調整可

業界別カテゴリ

  • エレクトロニクス
  • メカトロニクス
  • ケミカル
  • パブリックラボラトリ
  • エネルギー
  • バイオメディカル・フード
  • ライフサイエンス
業界分類
  • エレクトロニクス
  • メカトロニクス
  • ケミカル
  • パブリックラボラトリ
  • エネルギー
  • バイオメディカル・フード
  • ライフサイエンス