オートプレッシャーコントローラ(自動圧力制御器)
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シリーズ概要
動作原理内蔵した圧力センサーで圧力を一定に保ちます。
アプリケーション
電気信号で任意の圧力が設定可能です。
1つのラインにマスフロが複数接続されている場合、ガス流量の急激な変動が他のマスフロに影響を与えないように圧力調整を行う。
ウエハ裏面冷却用の制御器として対応可能。
下流圧力制御用。
仕様
圧力レンジ F.S 13.3kPa(100Torr)、F.S. 150/300/500kPa abs.
供給圧力 0～200kPaG、～897.3kPaG
供給電源電圧 アナログ:±15VDC(120mA)
DeviceNet:+11～+25VDC、4.0W
出力信号 0～10VDC、0～5VDC
シリーズスペック詳細
| 材質 | ステンレス鋼製(SUS316L),Ni-Co Alloy | 最高使用圧力(MPa) | 0.2 |
|---|---|---|---|
| 最高使用温度(℃) | 50 | 最低使用温度(℃) | 0 |
業界別カテゴリ
- エレクトロニクス
- メカトロニクス
- ケミカル
- パブリックラボラトリ
- エネルギー
- バイオメディカル・フード
- ライフサイエンス
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