エレクトロニクス > 継手
フジキンが関るエレクトロニクス産業は、半導体業界、FPD(フラットパネルディスプレイ)業界、LED(化合物半導体)業界、太陽電池(ソーラー)業界の四種類となります。これら業界のお客様のご要求に応える為、また、お客様の保安・安全・安心のもと、吾々FCGが取組んだ技術開発テーマは、①接ガス・接液部完全禁油、②特殊精密仕上げ、③超清浄度管理の三種類です。エレクトロニクス産業のデバイス製造装置の約70%は高真空を利用したプロセスです。その代表的な製造装置は、洗浄装置、プラズマCVD装置、イオン注入装置、アニール装置、スパッタリング装置等であり、フジキンの使命は、小さなバルブ・継手に大きな使命と共に、高純度流体をプロセスのユーズポイントまで、純度を落とすことなく供給する技術を支えております。高真空を保持する事、清浄度を管理する事、長期信頼性を確保する事を目標に生産しております。バルブ・継手は、ステンレスバルブだけでなく、特殊材料にも対応しています。エレクトロニクス産業のフローコントロールシステム(流れ制御機器)をお客様の用途に応じてご提案をさせて頂きます。 FPD製造装置やLED製造装置向けバルブ・継手も同様の性能を維持できるようにしております。
- 用途イメージ・関連用語:
- 半導体製造
- FPD製造
- 太陽電池製造
- LED製造
- 洗浄装置
- エッチング装置
- CVD装置
- スパッタリング装置
- イオン注入装置
- 真空蒸着装置
- アッシング装置
- アニール装置
- 真空炉
- 高耐久性
- 高真空対応
- 高洗浄度
- コンパクト
- 特殊ガス対応
- 高純度材料
- 高気密性
2圧縮リング方式継手
溶着式継手
PFA
溶接式継手
ステンレス鋼製