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エレクトロニクス > 継手

フジキンが関るエレクトロニクス産業は、半導体業界、FPD(フラットパネルディスプレイ)業界、LED(化合物半導体)業界、太陽電池(ソーラー)業界の四種類となります。これら業界のお客様のご要求に応える為、また、お客様の保安・安全・安心のもと、吾々FCGが取組んだ技術開発テーマは、①接ガス・接液部完全禁油、②特殊精密仕上げ、③超清浄度管理の三種類です。エレクトロニクス産業のデバイス製造装置の約70%は高真空を利用したプロセスです。その代表的な製造装置は、洗浄装置、プラズマCVD装置、イオン注入装置、アニール装置、スパッタリング装置等であり、フジキンの使命は、小さなバルブ・継手に大きな使命と共に、高純度流体をプロセスのユーズポイントまで、純度を落とすことなく供給する技術を支えております。高真空を保持する事、清浄度を管理する事、長期信頼性を確保する事を目標に生産しております。バルブ・継手は、ステンレスバルブだけでなく、特殊材料にも対応しています。エレクトロニクス産業のフローコントロールシステム(流れ制御機器)をお客様の用途に応じてご提案をさせて頂きます。 FPD製造装置やLED製造装置向けバルブ・継手も同様の性能を維持できるようにしております。

  • 用途イメージ・関連用語:
  • 半導体製造
  • FPD製造
  • 太陽電池製造
  • LED製造
  • 洗浄装置
  • エッチング装置
  • CVD装置
  • スパッタリング装置
  • イオン注入装置
  • 真空蒸着装置
  • アッシング装置
  • アニール装置
  • 真空炉
  • 高耐久性
  • 高真空対応
  • 高洗浄度
  • コンパクト
  • 特殊ガス対応
  • 高純度材料
  • 高気密性
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    ユニオンガスケット式継手

    ユニオンガスケット式継手

    UJR-INRE-RG-NI-0 シリーズ 代表品番:UJR-6.35RE-RG-NI-0-0.1
    材質:ニッケル 最高使用圧力(MPa):21.5(差圧1MPa以下) 最高使用温度(℃):450 最低使用温度(℃):-196 接続形式: メタルガスケット式 特徴: 特殊材料ガス,高圧ガス大臣認定品対応可,真空
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  • ユニオンガスケット式継手

    ユニオンガスケット式継手

    UJR-MS-L-AP シリーズ 代表品番:UJR-6.35X9.52MS-L28.5-APM
    材質:ステンレス鋼製(SUS316L) 最高使用圧力(MPa):21.5 最高使用温度(℃):450 最低使用温度(℃):-196 接続形式: メタルガスケット式,バットウエルド 特徴: 特殊材料ガス,高圧ガス大臣認定品対応可,真空
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    ユニオンガスケット式継手

    UJR-N シリーズ 代表品番:UJR-6.35X9.52N
    材質:ステンレス鋼製(SUS316) 最高使用圧力(MPa):21.5 最高使用温度(℃):450 最低使用温度(℃):-196 接続形式: メタルガスケット式 特徴: 特殊材料ガス,高圧ガス大臣認定品対応可,真空
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    ユニオンガスケット式継手

    UJR-C シリーズ 代表品番:UJR-C-6.35X9.52
    材質:ステンレス鋼製(SUS316) 最高使用圧力(MPa):21.5 最高使用温度(℃):450 最低使用温度(℃):-196 接続形式: ねじ込み式,UNF おねじ 特徴: 特殊材料ガス,高圧ガス大臣認定品対応可,真空
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    ユニオンガスケット式継手

    UJR-JP シリーズ 代表品番:UJR-JP-6.35
    材質:ステンレス鋼製(SUS316L) 最高使用圧力(MPa):21.5 最高使用温度(℃):450 最低使用温度(℃):-196 接続形式: メタルガスケット式 特徴: 特殊材料ガス,高圧ガス大臣認定品対応可,真空
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  • ユニオンガスケット式継手

    ユニオンガスケット式継手

    UJR-JPB シリーズ 代表品番:UJR-JPB-6.35
    材質:ステンレス鋼製(SUS316L) 最高使用圧力(MPa):21.5 最高使用温度(℃):450 最低使用温度(℃):-196 接続形式: メタルガスケット式 特徴: 特殊材料ガス,高圧ガス大臣認定品対応可,真空
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  • ユニオンガスケット式継手

    ユニオンガスケット式継手

    UJR-MS-AW-S-EAJ シリーズ 代表品番:UJR-3.2MS-AW-S-EAJ
    材質:ステンレス鋼製(SUS316L) 最高使用圧力(MPa):21.5 最高使用温度(℃):450 最低使用温度(℃):-196 接続形式: メタルガスケット式,バットウエルド 特徴: 特殊材料ガス,高圧ガス大臣認定品対応可,真空
  • ユニオンガスケット式継手

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  • ユニオンガスケット式継手

    ユニオンガスケット式継手

    UJR-MS-AW-S-EAJ シリーズ 代表品番:UJR-6.35X3.2MS-AW-S-EAJ
    材質:ステンレス鋼製(SUS316L) 最高使用圧力(MPa):21.5 最高使用温度(℃):450 最低使用温度(℃):-196 接続形式: メタルガスケット式,バットウエルド 特徴: 特殊材料ガス,高圧ガス大臣認定品対応可,真空
  • ユニオンガスケット式継手

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  • 溶接式継手

    溶接式継手

    UJL-INM-AW-S シリーズ 代表品番:UJL-6.35M-AW-S
    材質:ステンレス鋼製(SUSF316L) 最高使用圧力(MPa):21.5 最高使用温度(℃):450 最低使用温度(℃):-196 接続形式: 溶接,バットウエルド 特徴: 特殊材料ガス,真空
  • 溶接式継手

    溶接式継手

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  • 溶接式継手

    溶接式継手

    UJL-INM-AW-S シリーズ 代表品番:UJL-9.52MX6.35M-AW-S
    材質:ステンレス鋼製(SUSF316L) 最高使用圧力(MPa):21.5 最高使用温度(℃):450 最低使用温度(℃):-196 接続形式: 溶接,バットウエルド 特徴: 特殊材料ガス,真空
  • 溶接式継手

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  • 溶接式継手

    溶接式継手

    UJT-INM-AW-S シリーズ 代表品番:UJT-6.35M-AW-S
    材質:ステンレス鋼製(SUSF316L) 最高使用圧力(MPa):21.5 最高使用温度(℃):450 最低使用温度(℃):-196 接続形式: 溶接,バットウエルド 特徴: 特殊材料ガス,真空
  • 溶接式継手

    溶接式継手

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  • 溶接式継手

    溶接式継手

    UJT-INMXOTM-AW-S シリーズ 代表品番:UJT-9.52MX6.35M-AW-S
    材質:ステンレス鋼製(SUSF316L) 最高使用圧力(MPa):21.5 最高使用温度(℃):450 最低使用温度(℃):-196 接続形式: 溶接,バットウエルド 特徴: 特殊材料ガス,真空
  • 溶接式継手

    溶接式継手

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  • 溶接式継手

    溶接式継手

    UJX-INM-AW-S シリーズ 代表品番:UJX-6.35M-AW-S
    材質:ステンレス鋼製(SUSF316L) 最高使用圧力(MPa):21.5 最高使用温度(℃):450 最低使用温度(℃):-196 接続形式: 溶接,バットウエルド 特徴: 特殊材料ガス,真空
  • 溶接式継手

    溶接式継手

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  • 溶接式継手

    溶接式継手

    UJLT-INM-AW-S シリーズ 代表品番:UJLT-6.35M-AW-S
    材質:ステンレス鋼製(SUSF316L) 最高使用圧力(MPa):21.5 最高使用温度(℃):450 最低使用温度(℃):-196 接続形式: 溶接,バットウエルド 特徴: 特殊材料ガス,真空
  • 溶接式継手

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  • 溶接式継手

    溶接式継手

    UJS-INM-AW-S シリーズ 代表品番:UJS-9.52MX6.35M-AW-S
    材質:ステンレス鋼製(SUS316L) 最高使用圧力(MPa):21.5 最高使用温度(℃):450 最低使用温度(℃):-196 接続形式: 溶接,バットウエルド 特徴: 特殊材料ガス,真空
  • 溶接式継手

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  • ユニオンガスケット式継手

    ユニオンガスケット式継手

    UPG-INMS シリーズ 代表品番:UPG-3.2MS-L22-316LM
    材質:ステンレス鋼製(SUS316L ダブルメルト材) 最高使用圧力(MPa):21.5 最高使用温度(℃):450 最低使用温度(℃):-196 接続形式: メタルガスケット式,溶接 特徴: 特殊材料ガス,高圧ガス大臣認定品対応可,真空
  • ユニオンガスケット式継手

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  • ユニオンガスケット式継手

    ユニオンガスケット式継手

    UPG-INMS シリーズ 代表品番:UPG-6.35MS-L20-316LM
    材質:ステンレス鋼製(SUS316L ダブルメルト材) 最高使用圧力(MPa):21.5 最高使用温度(℃):450 最低使用温度(℃):-196 接続形式: メタルガスケット式,溶接 特徴: 特殊材料ガス,高圧ガス大臣認定品対応可,真空
  • ユニオンガスケット式継手

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  • ユニオンガスケット式継手

    ユニオンガスケット式継手

    UPG-INMS シリーズ 代表品番:UPG-9.52MS-L21-316LM
    材質:ステンレス鋼製(SUS316L ダブルメルト材) 最高使用圧力(MPa):21.5 最高使用温度(℃):450 最低使用温度(℃):-196 接続形式: メタルガスケット式,溶接 特徴: 特殊材料ガス,高圧ガス大臣認定品対応可,真空
  • ユニオンガスケット式継手

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  • ユニオンガスケット式継手

    ユニオンガスケット式継手

    UPG-INMS シリーズ 代表品番:UPG-12.7MS-L24-316LM
    材質:ステンレス鋼製(SUS316L ダブルメルト材) 最高使用圧力(MPa):21.5 最高使用温度(℃):450 最低使用温度(℃):-196 接続形式: メタルガスケット式,溶接 特徴: 特殊材料ガス,高圧ガス大臣認定品対応可,真空
  • ユニオンガスケット式継手

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  • ユニオンガスケット式継手

    ユニオンガスケット式継手

    UPG-F シリーズ 代表品番:UPG-F-3.2
    材質:ステンレス鋼製(SUS316L ダブルメルト材) 最高使用圧力(MPa):21.5 最高使用温度(℃):450 最低使用温度(℃):-196 接続形式: おねじ 特徴: 特殊材料ガス,高圧ガス大臣認定品対応可,真空
  • ユニオンガスケット式継手

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