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マスフローコントローラ

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システム 機器名称

マスフローコントローラ FCS-T2000シリーズ

代表品番:|カタログNo.751-01

シリーズ概要

特長
・ピエゾアクチュエータ搭載
・低温度熱式流量センサ(反応性の高いガスや安定性の低いガスに有利)
・微小流量対応

シリーズスペック詳細

クリーン度 完全禁油 最高使用圧力(MPa) 0.3
最高使用温度(℃) 50 最低使用温度(℃) 5
特長 微量調整可

業界別カテゴリ

  • エレクトロニクス
  • メカトロニクス
  • ケミカル
  • パブリックラボラトリ
  • エネルギー
  • バイオメディカル・フード
  • ライフサイエンス
業界分類
  • エレクトロニクス
  • メカトロニクス
  • ケミカル
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