現地メンテナンス

定期点検メンテナンスには、弊社の経験豊富なスタッフが直接現地で点検を行います。

A社様メンテナンス事例

• 毎年の装置定期点検
• 点検項目
  1. 1）分解・点検
  2. 2）修復・洗浄
  3. 3）部品取替え
  4. 4）組立・配管取付
  5. 5）調整・検査・合否
  6. 6）報告書作成

場所：作業室（左）、クリーンルーム（右）　点検中

分解・点検

場所：クリーンルーム

状況：ボディーの出口側シート部にキズ発見。すり合わせ実施

すり合わせ要領：＃８００で数回、仕上げとして＃２０００で数回実施。

場所：クリーンルーム

状況：部品洗浄

洗浄液：荒洗浄はＩＰＡとアセトンをそれぞれ約１５０ｃｃ使用、代替フロンは２００ｃｃ使用。

場所：クリーンルーム

交換部品（新品）＜使用部品一覧表による＞

組立中後配管取付作業

開度、リミット調整、作動確認

外部（気密）漏れ検査

圧力２６MPa／流体 窒素ガス

１０分間保持、漏れ無きこと確認

検査合格

作業終了後、お客様のご要望に応じて、作業報告書はもちろんのこと、メンテナンスの結果を点検報告書として作成いたします。メンテナンス時にスタッフへお申し付けください。